RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 2, страницы 215–224 (Mi co135)  

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Исследование рельефа пленочных дифракционных оптических элементов

Т. П. Каминская, В. В. Попов, А. М. Салецкий

Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова, Москва, Россия

Аннотация: Методом сканирующей зондовой микроскопии исследованы параметры рельефа плёночных отражающих дифракционных оптических элементов, изготовленных по разным технологиям: традиционной лазерной записи радужных голограмм и технологиям «Dot matrix», «Kinemax» и электронно-лучевой литографии. Проведена оценка влияния технологии на параметры рельефа ДОЭ. Измерения показали, что в большинстве технологий высота рельефа может отличаться от оптимальной более чем на 100 %, и удовлетворительный визуальный эффект достигается только благодаря тому, что присутствуют решетки с разными высотой и профилем и результат усредняется. Прямые измерения рельефа выявляют причину низкой дифракционной эффективности и тем самым показывают путь к ее увеличению.

Ключевые слова: дифракционные оптические элементы, атомно-силовая микроскопия, дифракционная эффективность, параметры рельефа.

DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-2-215-224

Полный текст: PDF файл (1195 kB)
Полный текст: http://www.computeroptics.smr.ru/.../400212.html
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 11.03.2016
Исправленный вариант: 14.04.2016

Образец цитирования: Т. П. Каминская, В. В. Попов, А. М. Салецкий, “Исследование рельефа пленочных дифракционных оптических элементов”, Компьютерная оптика, 40:2 (2016), 215–224

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KamPopSal16}
\by Т.~П.~Каминская, В.~В.~Попов, А.~М.~Салецкий
\paper Исследование рельефа пленочных дифракционных оптических элементов
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 2
\pages 215--224
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co135}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-2-215-224}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/co135
  • http://mi.mathnet.ru/rus/co/v40/i2/p215

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Компьютерная оптика
    Просмотров:
    Эта страница:90
    Полный текст:31
    Литература:13
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020