RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 3, страницы 422–426 (Mi co160)  

КОРОТКОЕ СООБЩЕНИЕ

Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена

С. Д. Полетаевab, С. Г. Волотовскийab

a Самарский национальный исследовательский университет имени академика С.П. Королева, Самара, Россия
b Институт систем обработки изображений РАН – филиал ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН, Самара, Россия

Аннотация: Методом вычислительного эксперимента исследовано влияние технологических погрешностей формирования амплитудных оптических решёток, изготовленных методом лазерной абляции тонких плёнок молибдена, на распределение дифракционных порядков в дальней зоне дифракции. Для этого оцифровывалась профилограмма участка сформированной дифракционной структуры с последующим преобразованием в амплитудную или фазовую функции пропускания.

Ключевые слова: дифракционный микрорельеф, амплитудный оптический элемент, лазерная абляция.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 14-07-00177
16-29-09528
16-29-11744
16-07-00825
Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ № 14-07-00177, 16-29-09528, 16-29-11744, 16-07-00825.


DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-3-422-426

Полный текст: PDF файл (491 kB)
Полный текст: http://www.computeroptics.smr.ru/.../400316.html
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 02.06.2016
Принята в печать:24.06.2016

Образец цитирования: С. Д. Полетаев, С. Г. Волотовский, “Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена”, Компьютерная оптика, 40:3 (2016), 422–426

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolVol16}
\by С.~Д.~Полетаев, С.~Г.~Волотовский
\paper Анализ погрешностей лазерной записи оптических микроструктур на плёнках молибдена
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 3
\pages 422--426
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co160}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-3-422-426}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/co160
  • http://mi.mathnet.ru/rus/co/v40/i3/p422

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Компьютерная оптика
    Просмотров:
    Эта страница:105
    Полный текст:35
    Литература:17
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020