RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 4, страницы 482–488 (Mi co242)  

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров

В. П. Корольков, А. С. Конченко, В. В. Черкашин, Н. Г. Миронников

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия

Аннотация: В работе обсуждаются проблемы изготовления и контроля качества конформальных корректоров для мощных твердотельных YAG:Nd3+ лазеров. Предложено использовать метод безмасочной проекционной фотолитографии как альтернативу фотолитографии с зазором на основе растрированных полутоновых шаблонов. Рассмотрено применение метода зеркальной спектроскопической рефлектометрии для контроля формы корректоров на стадии рельефа в фоторезисте. Совокупность использованных методов значительно повышает производительность изготовления корректоров в сочетании с удешевлением процесса.

Ключевые слова: зеркальная спектроскопическая рефлектометрия, безмасочная фотолитография, конформальные корректоры, измерение толщины тонких пленок, профилометрия.

DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-4-482-488

Полный текст: PDF файл (612 kB)
Полный текст: http://www.computeroptics.smr.ru/.../400407.html
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 30.05.2016
Принята в печать:16.08.2016

Образец цитирования: В. П. Корольков, А. С. Конченко, В. В. Черкашин, Н. Г. Миронников, “Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров”, Компьютерная оптика, 40:4 (2016), 482–488

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KorKonChe16}
\by В.~П.~Корольков, А.~С.~Конченко, В.~В.~Черкашин, Н.~Г.~Миронников
\paper Разработка методов формирования и контроля заданного распределения толщины фоторезиста при изготовлении конформальных корректоров
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 4
\pages 482--488
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co242}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-4-482-488}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/co242
  • http://mi.mathnet.ru/rus/co/v40/i4/p482

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Компьютерная оптика
    Просмотров:
    Эта страница:83
    Полный текст:26
    Литература:18
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020