RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 6, страницы 818–829 (Mi co332)  

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления

А. Г. Полещук, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, В. Н. Хомутов, А. С. Конченко

Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия

Аннотация: Развитие специализированных неразрушающих методов контроля оптических элементов с микрорельефом необходимо для освоения производства дифракционных, микрооптических и конформальных элементов. В лаборатории дифракционной оптики ИАиЭ СО РАН разработано и исследовано несколько различных подходов к характеризации разнообразных типов оптических элементов с микрорельефом на промежуточных и финальной стадии их изготовления, направленных на контроль погрешностей волнового фронта, глубины травления и дифракционной эффективности бинарных и многоуровневых элементов. В работе дан обзор разработанных методик и измерительных схем с учетом специфики параметров контролируемых элементов и областей их применения. Приведены результаты контроля конкретных изготовленных элементов.

Ключевые слова: характеризация дифракционных оптических элементов, погрешность волнового фронта, контроль глубины травления, зеркальная сканирующая рефлектометрия, контроль дифракционной эффективности.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 14-29-07227-офи_м
Сибирское отделение Российской академии наук 43
112
Данная работа частично поддержана грантом РФФИ ОФИ-М № 14-29-07227 и междисциплинарными интеграционными проектами № 43 и 112 СО РАН.


DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-818-829

Полный текст: PDF файл (859 kB)
Полный текст: http://www.computeroptics.smr.ru/.../400607.html
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 01.09.2016
Принята в печать:11.12.2016

Образец цитирования: А. Г. Полещук, В. П. Корольков, Р. К. Насыров, В. Н. Хомутов, А. С. Конченко, “Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления”, Компьютерная оптика, 40:6 (2016), 818–829

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{PolKorNas16}
\by А.~Г.~Полещук, В.~П.~Корольков, Р.~К.~Насыров, В.~Н.~Хомутов, А.~С.~Конченко
\paper Методы оперативного контроля характеристик дифракционных и конформальных оптических элементов в процессе изготовления
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 6
\pages 818--829
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co332}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-818-829}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/co332
  • http://mi.mathnet.ru/rus/co/v40/i6/p818

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Компьютерная оптика
    Просмотров:
    Эта страница:120
    Полный текст:39
    Литература:17
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020