RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2016, том 40, выпуск 6, страницы 863–870 (Mi co338)  

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Поверхностная модификация кварцевого стекла импульсами пикосекундного лазера

М. А. Завьялова

Конструкторско-технологический институт научного приборостроения СО РАН, Новосибирск, Россия

Аннотация: Описан экспериментальный стенд для исследования процессов прямого формирования микро- и наноструктур на поверхности кварцевого оптического стекла импульсами пикосекундного ультрафиолетового лазера. Предложен метод контроля абляции на основе датчика Шека–Гартмана. Синтезированы кратеры испарения на поверхности кварца глубиной от $23 \pm 4 нм$ до $144 \pm 18 нм$ с хорошим качеством края при плотностях мощности от $0,57 \times 1012$ Вт/см$^2$ до $31 \times 1012$ Вт/см$^2$ соответственно. Более интенсивные режимы лазерной обработки приводят к образованию трещин и сколов на поверхности материала, менее интенсивные – к появлению каёмок плавления. Проведено исследование полученных структур с помощью атомно-силового микроскопа. Установлена скорость абляции кварцевого стекла при обработке импульсами пикосекундной длительности.

Ключевые слова: лазерная абляция, наноструктуры, кварцевое стекло, пикосекундные лазерные импульсы, волновой датчик Шека–Гартмана.

DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-863-870

Полный текст: PDF файл (884 kB)
Полный текст: http://www.computeroptics.smr.ru/.../400613.html
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 23.06.2016
Принята в печать:20.10.2016

Образец цитирования: М. А. Завьялова, “Поверхностная модификация кварцевого стекла импульсами пикосекундного лазера”, Компьютерная оптика, 40:6 (2016), 863–870

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Zav16}
\by М.~А.~Завьялова
\paper Поверхностная модификация кварцевого стекла импульсами пикосекундного лазера
\jour Компьютерная оптика
\yr 2016
\vol 40
\issue 6
\pages 863--870
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co338}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2016-40-6-863-870}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/co338
  • http://mi.mathnet.ru/rus/co/v40/i6/p863

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Компьютерная оптика
    Просмотров:
    Эта страница:112
    Полный текст:57
    Литература:19
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021