RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Компьютерная оптика:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Компьютерная оптика, 2017, том 41, выпуск 6, страницы 820–830 (Mi co453)  

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей

Д. Г. Денисов

Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, Москва, Россия

Аннотация: Разработан, научно обоснован и экспериментально подтверждён метод динамической интерферометрии контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей от заданного профиля на основе алгоритма расчёта целевой функции – спектральной плотности одномерной корреляционной функции. Представлены теоретические и экспериментальные исследования, посвящённые определению среднего квадратического отклонения локальных отклонений поверхностей оптических деталей диаметром до 100 мм и до 1000 мм, с учётом неисключённой систематической и случайной составляющих погрешностей определения целевой функции.

Ключевые слова: оптический контроль, интерферометрия, измерения поверхности, спектральная плотность мощности, методические погрешности, краевой эффект, эффект «утечки» частоты.

Финансовая поддержка Номер гранта
Министерство образования и науки Российской Федерации
Отдельные параграфы работы выполнены в рамках финансирования, осуществляемого согласно назначению стипендии Президента Российской Федерации молодым учёным и аспирантам, осуществляющим перспективные научные исследования и разработки по приоритетным направлениям модернизации российской экономики на 2013–2015 годы. Приказ № 136 Министерства образования и науки Российской Федерации от 28 февраля 2013 года.


DOI: https://doi.org/10.18287/2412-6179-2017-41-6-820-830

Полный текст: PDF файл (1061 kB)
Полный текст: http://www.computeroptics.smr.ru/.../index.html
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 18.07.2017
Принята в печать:07.11.2017

Образец цитирования: Д. Г. Денисов, “Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей”, Компьютерная оптика, 41:6 (2017), 820–830

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{Den17}
\by Д.~Г.~Денисов
\paper Анализ погрешностей при цифровой обработке результатов интерферометрического контроля локальных отклонений нанометрового уровня поверхностей оптических деталей
\jour Компьютерная оптика
\yr 2017
\vol 41
\issue 6
\pages 820--830
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/co453}
\crossref{https://doi.org/10.18287/2412-6179-2017-41-6-820-830}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/co453
  • http://mi.mathnet.ru/rus/co/v41/i6/p820

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Компьютерная оптика
    Просмотров:
    Эта страница:68
    Полный текст:25
    Литература:13
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020