RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖЭТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в ЖЭТФ, 2009, том 89, выпуск 2, страницы 80–83 (Mi jetpl341)  

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ

Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния

П. Г. Сенниковa, С. В. Голубевa, В. И. Шашкинb, Д. А. Пряхинb, М. Н. Дроздовb, Б. А. Андреевb, Ю. Н. Дроздовb, А. С. Кузнецовc, Х.-Й. Польd

a Институт прикладной физики РАН
b Институт физики микроструктур РАН
c ЗАО ``Астор"
d VITCON Projeсtconsult GmbH, D-07743 Jena, Germany

Аннотация: Сообщается о результатах получения слоев кремния методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния – водород. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции, рамановской спектроскопии и вторичной ионной масс-спектрометрии. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером кристаллических областей от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса. Образцы обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре.

Полный текст: PDF файл (484 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2009, 89:2, 73–75

Реферативные базы данных:

PACS: 52.77.Dq, 61.46.Hk, 73.63.Bd, 81.07.Bc
Поступила в редакцию: 02.12.2008

Образец цитирования: П. Г. Сенников, С. В. Голубев, В. И. Шашкин, Д. А. Пряхин, М. Н. Дроздов, Б. А. Андреев, Ю. Н. Дроздов, А. С. Кузнецов, Х.-Й. Поль, “Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния”, Письма в ЖЭТФ, 89:2 (2009), 80–83; JETP Letters, 89:2 (2009), 73–75

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{SenGolSha09}
\by П.~Г.~Сенников, С.~В.~Голубев, В.~И.~Шашкин, Д.~А.~Пряхин, М.~Н.~Дроздов, Б.~А.~Андреев, Ю.~Н.~Дроздов, А.~С.~Кузнецов, Х.-Й.~Поль
\paper Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния
\jour Письма в ЖЭТФ
\yr 2009
\vol 89
\issue 2
\pages 80--83
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jetpl341}
\transl
\jour JETP Letters
\yr 2009
\vol 89
\issue 2
\pages 73--75
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021364009020052}
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=000264483300005}
\scopus{http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-65549135147}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/jetpl341
  • http://mi.mathnet.ru/rus/jetpl/v89/i2/p80

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Vainshtein J.S., Kon'kov O.I., Kukin A.V., El'tsina O.S., Belyakov L.V., Terukov E.I., Sreseli O.M., Semiconductors, 45:3 (2011), 302–305  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    2. Nikolenko A.S., Sopinskyy M.V., Strelchuk V.V., Veligura L.I., Gomonovych V.V., J. Optoelectron. Adv. Mater., 14:1-2 (2012), 120–124  isi  elib
    3. Sennikov P.G., Kornev R.A., Abrosimov N.V., J. Radioanal. Nucl. Chem., 306:1 (2015), 21–30  crossref  isi  elib  scopus
    4. Wang J., Florea I., Bulkin P.V., Maurice J.-L., Johnson E.V., Physica Status Solidi C: Current Topics in Solid State Physics, Vol 13 No 10-12, Physica Status Solidi C-Current Topics in Solid State Physics, 13, no. 10-12, ed. Hildebrandt S., Wiley-V C H Verlag Gmbh, 2016, 782–785  crossref  isi  scopus
  • Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики Pis'ma v Zhurnal Иksperimental'noi i Teoreticheskoi Fiziki
    Просмотров:
    Эта страница:205
    Полный текст:56
    Литература:25
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2019