RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Письма в ЖЭТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Письма в ЖЭТФ, 2019, том 110, выпуск 11, страницы 759–764 (Mi jetpl6064)  

РАЗНОЕ

Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния

С. И. Кудряшовab, П. А. Даниловba, А. П. Порфирьевcd, А. А. Руденкоa, Н. Н. Мельникa, А. А. Кучмижакbe, О. Б. Витрикeb, А. А. Ионинa

a Физический институт им. П. Н. Лебедева, 119991 Москва, Россия
b Институт автоматики и процессов управления ДВО РАН, 690041 Владивосток, Россия
c Институт систем обработки изображений РАН – филиал Федерального научно-исследовательского центра “Кристаллография и фотоника” РАН, 443001 Самара, Россия
d Самарский национальный исследовательский университет им. академика С. П. Королёва, 443086 Самара, Россия
e Дальневосточный федеральный университет, 690041 Владивосток, Россия

Аннотация: Экспериментально исследовано формирование микромасштабных гексагональных массивов нано-отверстий (метаповерхностей) в пленке гидрогенизированного аморфного кремния толщиной 50 нм путем трехлучевой интерференции фемтосекундных лазерных импульсов видимого диапазона (длина волны – 515 нм) в зависимости от экспозиции пленки. Характеризация массивов методами сканирующей электронной и оптической микроскопии, а также микроспектроскопии оптического пропускания и отражения показывает постепенное испарительное формирование в кремниевой пленке нано-отверстий и метаповерхности в целом по мере роста числа лазерных импульсов при их фиксированной энергии, с одновременным ростом объемного содержания кристаллической фазы согласно данным микроспектроскопии комбинационного рассеяния света.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16-12-10165
Работа поддержана грантом Российского научного фонда (проект # 16-12-10165).


DOI: https://doi.org/10.1134/S0370274X19230103

Полный текст: PDF файл (1348 kB)
Первая страница: PDF файл
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 23.10.2019
Исправленный вариант: 06.11.2019
Принята в печать:06.11.2019

Образец цитирования: С. И. Кудряшов, П. А. Данилов, А. П. Порфирьев, А. А. Руденко, Н. Н. Мельник, А. А. Кучмижак, О. Б. Витрик, А. А. Ионин, “Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния”, Письма в ЖЭТФ, 110:11 (2019), 759–764

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KudDanPor19}
\by С.~И.~Кудряшов, П.~А.~Данилов, А.~П.~Порфирьев, А.~А.~Руденко, Н.~Н.~Мельник, А.~А.~Кучмижак, О.~Б.~Витрик, А.~А.~Ионин
\paper Оптические и структурные эффекты при многоимпульсной интерференционной фемтосекундной лазерной фабрикации метаповерхностей на тонкой пленке аморфного кремния
\jour Письма в ЖЭТФ
\yr 2019
\vol 110
\issue 11
\pages 759--764
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jetpl6064}
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0370274X19230103}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/jetpl6064
  • http://mi.mathnet.ru/rus/jetpl/v110/i11/p759

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики Pis'ma v Zhurnal Иksperimental'noi i Teoreticheskoi Fiziki
    Просмотров:
    Эта страница:13
    Литература:3
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020