|
Моделирование процессов образования и миграции пор в межсоединениях электрических схем
Ю. Н. Карамзинa, С. В. Поляковa, И. В. Поповa, Г. М. Кобельковb, С. Г. Кобельковb, Jun Ho Choyc a Институт математического моделирования РАН
b Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова
c LSI Logic Incorporation
Аннотация:
Рассмотрены проблемы моделирования образования и миграции пор в межсоединениях электрических схем. Предложена математическая модель процессов, основанная на дрейфо-диффузионном приближении. Для анализа модели в случае плоской прямоугольной геометрии межсоединения построены монотонные консервативные конечно-разностные схемы, разработаны алгоритмы их численной реализации для персонального компьютера и многопроцессорных вычислительных систем. Апробация разработанного подхода проведена на модельной задаче. В численных экспериментах показано, что модель качественно и количественно описывает основные физические процессы и может быть использована на этапе разработки новых микросхем.
Полный текст:
PDF файл (509 kB)
Список литературы:
PDF файл
HTML файл
Реферативные базы данных:
Поступила в редакцию: 19.03.2007
Образец цитирования:
Ю. Н. Карамзин, С. В. Поляков, И. В. Попов, Г. М. Кобельков, С. Г. Кобельков, Jun Ho Choy, “Моделирование процессов образования и миграции пор в межсоединениях электрических схем”, Матем. моделирование, 19:10 (2007), 29–43
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KarPolPop07}
\by Ю.~Н.~Карамзин, С.~В.~Поляков, И.~В.~Попов, Г.~М.~Кобельков, С.~Г.~Кобельков, Jun Ho Choy
\paper Моделирование процессов образования и миграции пор в~межсоединениях электрических схем
\jour Матем. моделирование
\yr 2007
\vol 19
\issue 10
\pages 29--43
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm1199}
\mathscinet{http://www.ams.org/mathscinet-getitem?mr=2375826}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:1140.65344}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=9556839}
Образцы ссылок на эту страницу:
http://mi.mathnet.ru/mm1199 http://mi.mathnet.ru/rus/mm/v19/i10/p29
Citing articles on Google Scholar:
Russian citations,
English citations
Related articles on Google Scholar:
Russian articles,
English articles
|
Просмотров: |
Эта страница: | 485 | Полный текст: | 122 | Литература: | 37 | Первая стр.: | 23 |
|