RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Матем. моделирование, 1997, том 9, номер 5, страницы 68–76 (Mi mm1415)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Математические модели и вычислительный эксперимент

Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний

О. И. Величкоa, Ф. Ф. Комаровb, Н. М. Лукановc, А. Н. Мучинскийd, Н. Л. Прохоренкоe, В. А. Цуркоd

a Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
b Белорусский государственный университет
c Научно-производственный координационный центр "Интерсигнал"
d Институт математики НАН Беларуси
e Институт технической кибернетики НАН Беларуси

Аннотация: Построена модель процессов переноса примесных атомов в системе поликремний-кремний, описывающая явление сегрегации примеси вблизи границы раздела фаз. Разработан алгоритм решения системы квазилинейных уравнений диффузии и проведены численные расчеты процесса совместной диффузии мышьяка и бора с учетом неоднородного распределения дефектов вблизи границы раздела фаз.

Полный текст: PDF файл (967 kB)

Реферативные базы данных:

УДК: 681.3+519.6
Поступила в редакцию: 24.09.1996

Образец цитирования: О. И. Величко, Ф. Ф. Комаров, Н. М. Луканов, А. Н. Мучинский, Н. Л. Прохоренко, В. А. Цурко, “Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний”, Матем. моделирование, 9:5 (1997), 68–76

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VelKomLuk97}
\by О.~И.~Величко, Ф.~Ф.~Комаров, Н.~М.~Луканов, А.~Н.~Мучинский, Н.~Л.~Прохоренко, В.~А.~Цурко
\paper Моделирование диффузии примесей при термическом отжиге системы поликремний-кремний
\jour Матем. моделирование
\yr 1997
\vol 9
\issue 5
\pages 68--76
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm1415}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:0993.82504}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/mm1415
  • http://mi.mathnet.ru/rus/mm/v9/i5/p68

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Tsurko V.A., “The accuracy of finite-difference schemes for parabolic equations with a discontinuous solution”, Differential Equations, 36:7 (2000), 1094–1101  mathnet  crossref  mathscinet  zmath  isi  scopus
  • Математическое моделирование
    Просмотров:
    Эта страница:464
    Полный текст:155
    Первая стр.:3

     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2018