RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Матем. моделирование, 1990, том 2, номер 10, страницы 13–25 (Mi mm2462)  

Вычислительный эксперимент в науке и технике

Численное моделирование формирования субмикронных легированных областей в полупроводниковых структурах

А. Ф. Буренков, А. И. Кирковский, В. А. Цуркоa

a Институт математики НАН Беларуси

Аннотация: Рассматриваются вычислительные аспекты моделирования распределения легирующих примесей в результате термического отжига кремниевых пластин. Разностные схемы строятся на нерегулярной подвижной сетке, учитывающей характер изменения решения. Приводятся примеры моделирования технологии формирования сток-истоковых областей МОП-приборов и активных областей биполярных транзисторов.

Полный текст: PDF файл (1617 kB)

Реферативные базы данных:
УДК: 519.63
Поступила в редакцию: 09.04.1990

Образец цитирования: А. Ф. Буренков, А. И. Кирковский, В. А. Цурко, “Численное моделирование формирования субмикронных легированных областей в полупроводниковых структурах”, Матем. моделирование, 2:10 (1990), 13–25

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{BurKirTsu90}
\by А.~Ф.~Буренков, А.~И.~Кирковский, В.~А.~Цурко
\paper Численное моделирование формирования субмикронных легированных областей в~полупроводниковых структурах
\jour Матем. моделирование
\yr 1990
\vol 2
\issue 10
\pages 13--25
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm2462}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:0974.82500}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/mm2462
  • http://mi.mathnet.ru/rus/mm/v2/i10/p13

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Математическое моделирование
    Просмотров:
    Эта страница:273
    Полный текст:112
    Литература:1
    Первая стр.:1
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2019