RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Матем. моделирование, 2004, том 16, номер 6, страницы 28–30 (Mi mm266)  

XII Международная конференция по вычислительной механике и современным прикладным программным системам (ВМСППС'2003)

Численное моделирование процессов выращивания $\alpha$-Si:H пленок в PECVD реакторах

Ю. Е. Горбачев, М. А. Затевахин, А. А. Игнатьев

Институт высокопроизводительных вычислений и информационных систем

Аннотация: В настоящей работе приведено описание программного пакета для моделирования роста пленок аморфного гидрированного кремния ($\alpha$-Si:H) из силано-содержащих (SiH$_4$) смесей в PECVD реакторах. Пакет включает в себя вычислительные модули, пользовательские интерфейсы и средства визуализации и ориентирован на работу на Linux-кластерах. Физико-математическая модель процессов в реакторе и методы решения задачи в одно- и двумерной постановке изложены в [1–3].

Полный текст: PDF файл (413 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Реферативные базы данных:


Образец цитирования: Ю. Е. Горбачев, М. А. Затевахин, А. А. Игнатьев, “Численное моделирование процессов выращивания $\alpha$-Si:H пленок в PECVD реакторах”, Матем. моделирование, 16:6 (2004), 28–30

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GorZatIgn04}
\by Ю.~Е.~Горбачев, М.~А.~Затевахин, А.~А.~Игнатьев
\paper Численное моделирование процессов выращивания $\alpha$-Si:H пленок в~PECVD реакторах
\jour Матем. моделирование
\yr 2004
\vol 16
\issue 6
\pages 28--30
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm266}
\zmath{https://zbmath.org/?q=an:1079.76617}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/mm266
  • http://mi.mathnet.ru/rus/mm/v16/i6/p28

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Математическое моделирование
    Просмотров:
    Эта страница:252
    Полный текст:93
    Литература:22
    Первая стр.:1

     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2019