RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Матем. моделирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Матем. моделирование, 2013, том 25, номер 7, страницы 89–102 (Mi mm3384)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики

Д. А. Ким, В. Г. Новиков, Г. В. Долголева, К. Н. Кошелев, А. Д. Соломянная

Институт прикладной математики им. М. В. Келдыша РАН, Москва

Аннотация: Построена модель нестационарной неравновесной излучающей плазмы с учетом поуровневой кинетики и переноса излучения в спектральных линиях. Проведено моделирование разлета и излучения сферической мишени в результате воздействия на нее лазерного импульса. Реализовано численное решение уравнений двухтемпературной 1D-газодинамики в лагранжевой форме. Поле излучения и поуровневая кинетика учитываются самосогласованным образом с применением двух методик: с использованием интерполяции между заранее рассчитанными таблицами спектральных данных и путем включения кинетики in-line в г/д расчет. Получены оценки эффективности конверсии в EUV-излучение для плазмы лития и олова. Данная задача имеет важное прикладное значение для EUV-литографии, применяемой при производстве микрочипов. Полученные результаты для эффективности конверсии при оптимальных параметрах лазерного импульса составляют для лития $\sim1%$ и для олова $\sim5%$, что находится в согласии с экспериментальными данными.

Ключевые слова: детальная поуровневая кинетика, EUV-излучение, лазерная плазма, радиационная газодинамика.

Полный текст: PDF файл (366 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Mathematical Models and Computer Simulations, 2014, 6:1, 46–55

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 24.10.2012

Образец цитирования: Д. А. Ким, В. Г. Новиков, Г. В. Долголева, К. Н. Кошелев, А. Д. Соломянная, “Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики”, Матем. моделирование, 25:7 (2013), 89–102; Math. Models Comput. Simul., 6:1 (2014), 46–55

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KimNovDol13}
\by Д.~А.~Ким, В.~Г.~Новиков, Г.~В.~Долголева, К.~Н.~Кошелев, А.~Д.~Соломянная
\paper Моделирование источников EUV-излучения с учетом детальной кинетики, включенной in-line в программу радиационной газодинамики
\jour Матем. моделирование
\yr 2013
\vol 25
\issue 7
\pages 89--102
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/mm3384}
\transl
\jour Math. Models Comput. Simul.
\yr 2014
\vol 6
\issue 1
\pages 46--55
\crossref{https://doi.org/10.1134/S2070048214010086}
\scopus{http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-84925943374}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/mm3384
  • http://mi.mathnet.ru/rus/mm/v25/i7/p89

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
    Цикл статей

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. А. В. Шильков, “Метод спектральных моментов в моделировании излучающей столкновительной плазмы”, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2016, 036, 48 с.  mathnet
  • Математическое моделирование
    Просмотров:
    Эта страница:254
    Полный текст:82
    Литература:34
    Первая стр.:13
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020