RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Физика и техника полупроводников:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Физика и техника полупроводников, 1986, том 20, выпуск 5, страницы 907–910 (Mi phts214)  

Краткие сообщения

Влияние отжига на электронно-микроскопическое изображение и спектр DLTS дислокаций в деформированном кремнии

В. В. Аристов, П. Вернер, И. И. Снигирева, И. И. Ходос, Е. Б. Якимов, Н. А. Ярыкин

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН

Полный текст: PDF файл (2310 kB)
Тип публикации: Статья
УДК: 621.315.592
Поступила в редакцию: 22.07.1985
Принята в печать:16.10.1985

Образец цитирования: В. В. Аристов, П. Вернер, И. И. Снигирева, И. И. Ходос, Е. Б. Якимов, Н. А. Ярыкин, “Влияние отжига на электронно-микроскопическое изображение и спектр DLTS дислокаций в деформированном кремнии”, Физика и техника полупроводников, 20:5 (1986), 907–910

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AriVerSni86}
\by В.~В.~Аристов, П.~Вернер, И.~И.~Снигирева, И.~И.~Ходос, Е.~Б.~Якимов, Н.~А.~Ярыкин
\paper Влияние отжига на электронно-микроскопическое изображение и~спектр
DLTS дислокаций в~деформированном кремнии
\jour Физика и техника полупроводников
\yr 1986
\vol 20
\issue 5
\pages 907--910
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/phts214}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/phts214
  • http://mi.mathnet.ru/rus/phts/v20/i5/p907

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Физика и техника полупроводников Физика и техника полупроводников
    Просмотров:
    Эта страница:6
    Полный текст:5
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021