 |
|
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье) Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма Разрушения поверхности кремния в твердой фазе при воздействии импульсов YAG:Nd-лазера А. Ф. Банишев, В. С. Голубев, А. Ю. Кремнев Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам Российской академии наук, г. Шатура Московской обл. Аннотация: Исследовано твердофазное разрушение поверхности кремния при воздействии импульсов YAG:Nd-лазера. Результаты измерений позволяют предположить, что при воздействии на поверхность кремния лазерных импульсов с интенсивностью, близкой к пороговой интенсивности Imelt, при которой начинается плавление поверхности, происходит эмиссия частиц, которая, как нам представляется, связана с образованием микротрещин на поверхности в результате конденсации неравновесных дефектов под действием упругих напряжений.  Полный текст:
PDF файл (190 kB)
Англоязычная версия: Quantum Electronics, 1998, 28:10,  Реферативные базы данных: 
Тип публикации: Статья PACS: 61.82.Fk, 68.35.Dv Поступила в редакцию: 27.04.1998 Образец цитирования: А. Ф. Банишев, В. С. Голубев, А. Ю. Кремнев, “Разрушения поверхности кремния в твердой фазе при воздействии импульсов YAG:Nd-лазера”, Квантовая электроника, 25:10 (1998), Образцы ссылок на эту страницу:
Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
|
|
||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
|
|
Обратная связь: |
 Пользовательское соглашение
|
Регистрация |
Логотипы |
|