RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2008, том 38, номер 11, страницы 1078–1082 (Mi qe13723)  

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии

Ю. К. Верёвкинa, А. Ю. Климовa, Б. А. Грибковa, В. Н. Петряковa, Е. В. Копосоваa, С. М. Олайзолаb

a Институт прикладной физики РАН, г. Нижний Новгород
b Centro de Estudios e Investigaciones Technical de Guipuzcoa, Donostia-San Sebastian, Spain

Аннотация: С использованием интерференции импульсного излучения и полного цикла литографии созданы фазовые маски на кварце и антиотражающие структуры на кварце и кремнии. При помощи компьютерной программы на основе строгого решения интегрального уравнения рассчитано пропускание гофрированной границы вакуум — твёрдое тело для параметров, близких к параметрам экспериментальных структур. Результаты измерений достаточно хорошо согласуются с расчётами. Разработанные методы могут быть полезны для создания оптических и полупроводниковых устройств.

Полный текст: PDF файл (274 kB)

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2008, 38:11, 1078–1082

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 81.16.Nd, 81.16.Rf
Поступила в редакцию: 21.08.2007
Исправленный вариант: 01.04.2008

Образец цитирования: Ю. К. Верёвкин, А. Ю. Климов, Б. А. Грибков, В. Н. Петряков, Е. В. Копосова, С. М. Олайзола, “Наноразмерный рельеф: от фазовых масок до антиотражающих структур на кварце и кремнии”, Квантовая электроника, 38:11 (2008), 1078–1082 [Quantum Electron., 38:11 (2008), 1078–1082]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe13723
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v38/i11/p1078

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:99
    Полный текст:53
    Первая стр.:1
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020