В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения”, Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972 [Quantum Electron., 39:10 (2009), 967

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 2009, том 39, номер 10, страницы 967–972 (Mi qe14028)

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения

В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров

ФГУП «ГНЦ РФ — Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований»

Аннотация: Актуальность развития мощных разрядных источников, излучающих в спектральном диапазоне 13.5 ± 0.135 нм, определяется их планируемым применением в промышленной EUV (Extreme Ultraviolet) литографии для изготовления интегральных схем по технологическим нормам 22 нм и менее. Исследованы характеристики EUV источников на основе инициируемого лазером разряда в парах олова между вращающимися дисковыми электродами. Выявлены закономерности процесса инициирования разряда лазерами с различными длинами волн излучения и определены параметры лазерного импульса, оптимальные для достижения максимальных энергетических характеристик EUV источника. Развитый подход к созданию EUV источника позволил достичь в стационарном режиме с частотой следования разрядных импульсов 3000 Гц средней мощности EUV излучения 276 Вт в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм в пересчете на пространственный угол 2π ср.

Доступен полный текст статьи

Полный текст: PDF файл (313 kB)

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2009, 39:10, 967–972

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 42.72.Bj, 52.80.Yr, 85.40.Hp
Поступила в редакцию: 17.12.2008
Исправленный вариант: 15.04.2009

Образец цитирования: В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения”, Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972 [Quantum Electron., 39:10 (2009), 967–972]

Образцы ссылок на эту страницу:

http://mi.mathnet.ru/qe14028

http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v39/i10/p967

ОТПРАВИТЬ:

Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

Эта публикация цитируется в следующих статьяx:

V. M. Borisov, G. N. Borisova, A. Yu. Vinokhodov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokofiev, O. B. Khristoforov, Plasma Phys Rep, 36:3 (2010), 216
В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726 ; Quantum Electron., 40:8 (2010), 720–726
Sublemontier O., Rosset-Kos M., Ceccotti T., Hergott J.-F., Auguste T., Normand D., Schmidt M., Beaumont F., Farcage D., Cheymol G., Le Caro J.-M., Cormont Ph., Mauchien P., Thro P.-Y., Skrzypczak J., Muller S., Marquis E., Barthod B., Gaurand I., Davenet M., Bernard R., J. Laser Micro Nanoeng., 6:2 (2011), 113–118
В. М. Борисов, К. Н. Кошелев, А. В. Прокофьев, Ф. Ю. Хаджийский, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 44:11 (2014), 1077–1082 ; Quantum Electron., 44:11 (2014), 1077–1082
В. М. Борисов, А. В. Ельцов, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 45:8 (2015), 691–696 ; Quantum Electron., 45:8 (2015), 691–696
Xu Q., Deng X., Tian H., Zhao Y., Wang Q., Appl. Sci.-Basel, 9:23 (2019), 4981

Просмотров:
Эта страница:	114
Полный текст:	77
Первая стр.:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы