|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники
Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров ФГУП «ГНЦ РФ — Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований»
Аннотация:
Актуальность развития мощных разрядных источников, излучающих в спектральном диапазоне 13.5 ± 0.135 нм, определяется их планируемым применением в промышленной EUV (Extreme Ultraviolet) литографии для изготовления интегральных схем по технологическим нормам 22 нм и менее. Исследованы характеристики EUV источников на основе инициируемого лазером разряда в парах олова между вращающимися дисковыми электродами. Выявлены закономерности процесса инициирования разряда лазерами с различными длинами волн излучения и определены параметры лазерного импульса, оптимальные для достижения максимальных энергетических характеристик EUV источника. Развитый подход к созданию EUV источника позволил достичь в стационарном режиме с частотой следования разрядных импульсов 3000 Гц средней мощности EUV излучения 276 Вт в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм в пересчете на пространственный угол 2π ср.
Полный текст:
PDF файл (313 kB)
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2009, 39:10, 967–972
Реферативные базы данных:
Тип публикации:
Статья
PACS:
42.72.Bj, 52.80.Yr, 85.40.Hp Поступила в редакцию: 17.12.2008 Исправленный вариант: 15.04.2009
Образец цитирования:
В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения”, Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972 [Quantum Electron., 39:10 (2009), 967–972]
Образцы ссылок на эту страницу:
http://mi.mathnet.ru/qe14028 http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v39/i10/p967
Citing articles on Google Scholar:
Russian citations,
English citations
Related articles on Google Scholar:
Russian articles,
English articles
Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
-
V. M. Borisov, G. N. Borisova, A. Yu. Vinokhodov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokofiev, O. B. Khristoforov, Plasma Phys Rep, 36:3 (2010), 216
-
В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726
; Quantum Electron., 40:8 (2010), 720–726 -
Sublemontier O., Rosset-Kos M., Ceccotti T., Hergott J.-F., Auguste T., Normand D., Schmidt M., Beaumont F., Farcage D., Cheymol G., Le Caro J.-M., Cormont Ph., Mauchien P., Thro P.-Y., Skrzypczak J., Muller S., Marquis E., Barthod B., Gaurand I., Davenet M., Bernard R., J. Laser Micro Nanoeng., 6:2 (2011), 113–118
-
В. М. Борисов, К. Н. Кошелев, А. В. Прокофьев, Ф. Ю. Хаджийский, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 44:11 (2014), 1077–1082
; Quantum Electron., 44:11 (2014), 1077–1082 -
В. М. Борисов, А. В. Ельцов, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 45:8 (2015), 691–696
; Quantum Electron., 45:8 (2015), 691–696
|
Просмотров: |
Эта страница: | 112 | Полный текст: | 75 | Первая стр.: | 1 |
|