RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2009, том 39, номер 10, страницы 967–972 (Mi qe14028)  

Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения

В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров

ФГУП «ГНЦ РФ — Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований»

Аннотация: Актуальность развития мощных разрядных источников, излучающих в спектральном диапазоне 13.5 ± 0.135 нм, определяется их планируемым применением в промышленной EUV (Extreme Ultraviolet) литографии для изготовления интегральных схем по технологическим нормам 22 нм и менее. Исследованы характеристики EUV источников на основе инициируемого лазером разряда в парах олова между вращающимися дисковыми электродами. Выявлены закономерности процесса инициирования разряда лазерами с различными длинами волн излучения и определены параметры лазерного импульса, оптимальные для достижения максимальных энергетических характеристик EUV источника. Развитый подход к созданию EUV источника позволил достичь в стационарном режиме с частотой следования разрядных импульсов 3000 Гц средней мощности EUV излучения 276 Вт в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм в пересчете на пространственный угол 2π ср.

Полный текст: PDF файл (313 kB)

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2009, 39:10, 967–972

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 42.72.Bj, 52.80.Yr, 85.40.Hp
Поступила в редакцию: 17.12.2008
Исправленный вариант: 15.04.2009

Образец цитирования: В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Лазерно-инициируемые источники экстремального ультрафиолетового излучения для производства интегральных схем следующего поколения”, Квантовая электроника, 39:10 (2009), 967–972 [Quantum Electron., 39:10 (2009), 967–972]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe14028
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v39/i10/p967

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. V. M. Borisov, G. N. Borisova, A. Yu. Vinokhodov, A. S. Ivanov, Yu. B. Kiryukhin, V. A. Mishchenko, A. V. Prokofiev, O. B. Khristoforov, Plasma Phys Rep, 36:3 (2010), 216  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    2. В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726  mathnet  adsnasa  elib; Quantum Electron., 40:8 (2010), 720–726  crossref  isi
    3. Sublemontier O., Rosset-Kos M., Ceccotti T., Hergott J.-F., Auguste T., Normand D., Schmidt M., Beaumont F., Farcage D., Cheymol G., Le Caro J.-M., Cormont Ph., Mauchien P., Thro P.-Y., Skrzypczak J., Muller S., Marquis E., Barthod B., Gaurand I., Davenet M., Bernard R., J. Laser Micro Nanoeng., 6:2 (2011), 113–118  crossref  isi  elib  scopus
    4. В. М. Борисов, К. Н. Кошелев, А. В. Прокофьев, Ф. Ю. Хаджийский, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 44:11 (2014), 1077–1082  mathnet  elib; Quantum Electron., 44:11 (2014), 1077–1082  crossref  isi
    5. В. М. Борисов, А. В. Ельцов, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 45:8 (2015), 691–696  mathnet  elib; Quantum Electron., 45:8 (2015), 691–696  crossref  isi
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:110
    Полный текст:74
    Первая стр.:1
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020