RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2010, том 40, номер 8, страницы 720–726 (Mi qe14369)  

Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)

В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров

ФГУП «ГНЦ РФ — Троицкий институт инновационных и термоядерных исследований»

Аннотация: Приводятся характеристики разрядного источника излучения в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм, предназначенного для использования в EUV (Extreme Ultra Violet) сканере. Излучение генерируется в разрядной плазме в парах олова, которая создается между вращающимися дисковыми электродами при инициировании разряда сфокусированным лазерным излучением. Достигнут вклад электрической мощности в плазму ~63 кВт при частоте следования импульсов до 7 кГц. Мощность EUV излучения в спектральной полосе 13.5 ± 0.135 нм составила около 1000 Вт в пересчете на угол 2π ср. Приводится сравнение результатов расчетного моделирования с экспериментом.

Полный текст: PDF файл (1053 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2010, 40:8, 720–726

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 42.72.Bj, 52.80.-s, 52.50.Jm
Поступила в редакцию: 26.05.2010

Образец цитирования: В. М. Борисов, Г. Н. Борисова, А. Ю. Виноходов, С. В. Захаров, А. С. Иванов, Ю. Б. Кирюхин, В. А. Мищенко, А. В. Прокофьев, О. Б. Христофоров, “Мощный источник света в экстремальном УФ диапазоне (13.5 нм)”, Квантовая электроника, 40:8 (2010), 720–726 [Quantum Electron., 40:8 (2010), 720–726]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe14369
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v40/i8/p720

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. L.S. Chan, D. Tan, S. Saboohi, S.L. Yap, C.S. Wong, Vacuum, 2013  crossref  isi  elib  scopus
    2. В. М. Борисов, К. Н. Кошелев, А. В. Прокофьев, Ф. Ю. Хаджийский, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 44:11 (2014), 1077–1082  mathnet  elib; Quantum Electron., 44:11 (2014), 1077–1082  crossref  isi
    3. В. М. Борисов, А. В. Ельцов, О. Б. Христофоров, Квантовая электроника, 45:8 (2015), 691–696  mathnet  elib; Quantum Electron., 45:8 (2015), 691–696  crossref  isi
    4. Yakushev O.F., Vinokhodov A.Yu., Koshelev K.N., Krivtsun V.N., Instrum. Exp. Tech., 58:6 (2015), 820–824  crossref  mathscinet  isi  elib  scopus
    5. А. Ю. Виноходов, В. М. Кривцун, А. А. Лаш, В. М. Борисов, О. Ф. Якушев, К. Н. Кошелев, Квантовая электроника, 46:1 (2016), 81–87  mathnet  elib; Quantum Electron., 46:1 (2016), 81–87  crossref  isi
    6. Beyene G.A., Tobin I., Juschkin L., Hayden P., O'Sullivan G., Sokell E., Zakharov V.S., Zakharov S.V., O'Reilly F., J. Phys. D-Appl. Phys., 49:22 (2016), 225201  crossref  isi  elib  scopus
    7. Zakharov V.S., J. Phys. D-Appl. Phys., 50:3 (2017), 035202  crossref  isi  scopus
    8. В. С. Захаров, Препринты ИПМ им. М. В. Келдыша, 2018, 148, 18 с.  mathnet  crossref  elib
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:195
    Полный текст:110
    Литература:20
    Первая стр.:1
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020