RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2011, том 41, номер 8, страницы 759–764 (Mi qe14500)  

Эта публикация цитируется в 15 научных статьях (всего в 16 статьях)

Нанолитография

Формирование интерференционных картин затухающих электромагнитных волн для наноразмерной литографии с помощью волноводных дифракционных решеток

Е. А. Безусab, Л. Л. Досколовичab, Н. Л. Казанскийab

a ГОУ ВПО «Самарский государственный аэрокосмический университет им. акад. С. П. Королева (национальный исследовательский университет)»
b Институт систем обработки изображений РАН - филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН, Самара, Россия, г. Самара

Аннотация: Рассмотрено формирование интерференционных картин затухающих электромагнитных волн с существенно субволновым периодом с помощью диэлектрических волноводных дифракционных решеток. На основе моделирования в рамках электромагнитной теории показана возможность получения интерференционных картин высокого качества за счет усиления затухающих порядков дифракции при резонансных условиях. Контраст интерференционных картин в случае ТЕ поляризации падающей волны близок к единице. Интенсивность поля в интерференционных максимумах в ближнем поле в 25 — 100 раз превышает интенсивность падающей волны. Показана возможность формирования интерференционных картин затухающих волн, соответствующих высшим порядкам дифракции. Использование высших порядков снижает требования к технологии изготовления и позволяет формировать интерференционные картины, имеющие высокую пространственную частоту, с помощью дифракционных решеток с низкой пространственной частотой. Представлены примеры формирования интерференционных картин с периодами, в 6 раз меньшими, чем у используемых дифракционных решеток.

Полный текст: PDF файл (501 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2011, 41:8, 759–764

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 81.16.Nd, 42.82.Et, 42.25.Hz
Поступила в редакцию: 18.11.2010
Исправленный вариант: 09.02.2011

Образец цитирования: Е. А. Безус, Л. Л. Досколович, Н. Л. Казанский, “Формирование интерференционных картин затухающих электромагнитных волн для наноразмерной литографии с помощью волноводных дифракционных решеток”, Квантовая электроника, 41:8 (2011), 759–764 [Quantum Electron., 41:8 (2011), 759–764]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe14500
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v41/i8/p759

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Э. И. Коломиец, Вестн. Сам. гос. техн. ун-та. Сер. Физ.-мат. науки, 3(32) (2013), 7–20  mathnet  crossref  zmath
    2. С. Б. Одиноков, Г. Р. Сагателян, М. С. Ковалёв, А. Б. Соломашенко, Е. А. Дроздова, Компьютерная оптика, 37:3 (2013), 341–351  mathnet
    3. Serafimovich P.G., Optical Technologies For Telecommunications 2013, Proceedings of Spie, 9156, eds. Andreev V., Burdin V., Sultanov A., Morozov O., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2014, 91560L  crossref  isi  scopus
    4. С. Б. Одиноков, А. Ю. Жердев, В. В. Колючкин, А. Б. Соломашенко, Компьютерная оптика, 38:4 (2014), 704–709  mathnet
    5. А. В. Волков, О. Ю. Моисеев, С. Д. Полетаев, И. В. Чистяков, Компьютерная оптика, 38:4 (2014), 757–762  mathnet
    6. Е. А. Кадомина, Е. А. Безус, Л. Л. Досколович, Компьютерная оптика, 39:4 (2015), 462–468  mathnet  crossref
    7. Abul'khanov S.R., Optical Technologies For Telecommunications 2014, Proceedings of Spie, 9533, ed. Andreev V. Burdin V. Sultanov A. Morozov O., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2015, UNSP 95330B  crossref  isi  scopus
    8. Sotsky A.B., Parashkov S.O., Sokolov V.I., Sotskaya L.I., Opt. Spectrosc., 121:6 (2016), 913–924  crossref  isi  elib  scopus
    9. Kadomina E.A., Bezus E.A., Doskolovich L.L., Tech. Phys., 61:9 (2016), 1389–1394  crossref  isi  elib  scopus
    10. Abulkhanov S.R., Kharitonov S.I., XIII International Scientific and Technical Conference on Optical Technologies in Telecommunications (Ufa, Russian Federation, Wednesday 18 November 2015), SPIE Proceedings, 9807, eds. Andreev V., Bourdine A., Burdin V., Morozov O., Sultanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2016, 98070S  crossref  isi  scopus
    11. Izotov P.Y., XIII International Scientific and Technical Conference on Optical Technologies in Telecommunications (Ufa, Russian Federation, Wednesday 18 November 2015), SPIE Proceedings, 9807, eds. Andreev V., Bourdine A., Burdin V., Morozov O., Sultanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2016, 980714  crossref  isi  scopus
    12. Markushin M.A., Kolpakov V.A., Krichevskiy S.V., Optical Technologies For Telecommunications 2016, Proceedings of Spie, 10342, eds. Andreev V., Bourdine A., Burdin V., Morozov O., Sultanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2017, UNSP 1034215  crossref  isi  scopus
    13. Murzin S.P., Liedl G., Bielak R., Optical Technologies For Telecommunications 2016, Proceedings of Spie, 10342, eds. Andreev V., Bourdine A., Burdin V., Morozov O., Sultanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2017, UNSP 103420G  crossref  isi  scopus
    14. Murzin S.P., Kazanskiy N.L., Optical Technologies For Telecommunications 2016, Proceedings of Spie, 10342, eds. Andreev V., Bourdine A., Burdin V., Morozov O., Sultanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2017, UNSP 103420S  crossref  isi  scopus
    15. Podlipnov V.V., Kolpakov V.A., Optical Technologies For Telecommunications 2016, Proceedings of Spie, 10342, eds. Andreev V., Bourdine A., Burdin V., Morozov O., Sultanov A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2017, UNSP 103420V  crossref  isi  scopus
    16. Bourke L., Blaikie R.J., J. Opt., 19:9 (2017), 095003  crossref  isi  scopus
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:182
    Полный текст:66
    Литература:27
    Первая стр.:1
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020