RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2015, том 45, номер 5, страницы 462–466 (Mi qe16177)  

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Экстремальные световые поля и их приложения

Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста

Д. А. Заярныйa, А. А. Ионинa, С. И. Кудряшовab, С. В. Макаровac, А. А. Руденкоa, Е. А. Дроздоваd, С. Б. Одиноковd

a Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва
b Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", г. Москва
c Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики
d Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана

Аннотация: Экспериментально исследованы особенности абляции тонкой серебряной пленки со слоем высокопрозрачного фоторезиста толщиной 1 мкм и без него под действием одиночных жесткосфокусированных фемтосекундных лазерных импульсов излучения видимого (515 нм) диапазона. Обнаружены и обсуждаются интерференционные эффекты внутренней модификации слоя фоторезиста, его откольной абляции с поверхности пленки, а также формирования сквозных полых субмикронных каналов в резисте без его откола, но с абляцией расположенной под ним серебряной пленки.

Ключевые слова: тонкая серебряная пленка с микронным слоем прозрачного фоторезиста, фемтосекундные лазерные импульсы видимого диапазона, жесткая фокусировка, субмикро- и микроабляция.
Автор для корреспонденции

Полный текст: PDF файл (3065 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2015, 45:5, 462–466

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 79.20.Eb, 81.15.-z, 42.65.Re
Поступила в редакцию: 22.02.2015

Образец цитирования: Д. А. Заярный, А. А. Ионин, С. И. Кудряшов, С. В. Макаров, А. А. Руденко, Е. А. Дроздова, С. Б. Одиноков, “Особенности одноимпульсной фемтосекундной лазерной микро- и субмикромасштабной абляции тонкой серебряной пленки, покрытой микронным слоем фоторезиста”, Квантовая электроника, 45:5 (2015), 462–466 [Quantum Electron., 45:5 (2015), 462–466]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe16177
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v45/i5/p462

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. M. Feinaeugle, P. Gregorcic, D. J. Heath, B. Mills, R. W. Eason, Appl. Surf. Sci., 396 (2017), 1231–1238  crossref  isi  elib  scopus
    2. A. K. Ivanova, A. A. Ionin, R. A. Khmel'nitskii, Yu. K. Klevkov, S. I. Kudryashov, A. O. Levchenko, N. N. Mel'nik, A. A. Nastulyavichus, A. A. Rudenko, I. N. Saraeva, N. A. Smirnov, D. A. Zayarny, S. A. Gonchukov, E. R. Tolordava, A. N. Baranov, Proceedings of International Conference on Metamaterials and Nanophotonics (Metanano-2017), AIP Conf. Proc., 1874, Amer. Inst. Phys., 2017, UNSP 040013  crossref  isi  scopus
    3. A. Ionin, A. Ivanova, R. Khmel'nitskii, Yu. Klevkov, S. Kudryashov, N. Mel'nik, A. Nastulyavichus, A. Rudenko, I. Saraeva, N. Smirnov, D. Zayarny, A. Baranov, D. Kirilenko, P. Brunkov, A. Shakhmin, Appl. Surf. Sci., 436 (2018), 662–669  crossref  isi  scopus
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:177
    Полный текст:32
    Литература:16
    Первая стр.:15
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020