RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2016, том 46, номер 5, страницы 473–480 (Mi qe16388)  

Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Лазеро-плазменный источник ЭУФ излучения

Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени

А. Ю. Виноходовa, М. С. Кривокорытовa, Ю. В. Сидельниковba, В. М. Кривцунba, В. В. Медведевba, К. Н. Кошелевba

a ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
b Институт спектроскопии РАН, г. Москва, г. Троицк

Аннотация: Представлены результаты исследования источника экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения на основе лазерной плазмы, созданной при взаимодействии наносекундного Nd – YAG-лазера с жидкометаллической капельной мишенью из низкотемпературного эвтектического сплава индий – олово. Генератор капель, созданный с использованием промышленного сопла, работал на основе принципа вынужденного капиллярного распада струи. Продемонстрирована долгосрочная пространственная стабильность положения центра масс капли-мишени со среднеквадратичным отклонением ~0.5 мкм. Использование низкотемпературного рабочего вещества вместо чистого олова увеличивало надежность и ресурс работы генератора капель. При средней по времени импульса и пространству плотности мощности лазерного излучения на капельной мишени 4 × 1011 Вт/см2 и диаметре излучающей плазмы ~80 мкм получена средняя эффективность преобразования лазерной энергии в энергию ЭУФ диапазона 13.5 ± 0.135 нм, равная 2.3%/(2π ср). Методом двойного импульса был смоделирован импульсно-периодический режим работы источника и показана возможность его стабильного функционирования c частотой следования импульсов до 8 кГц при частоте генерации капель более 32 кГц, что позволит обеспечить яркость источника ~0.96 кВт /(мм2·ср).

Ключевые слова: ЭУФ литография, актинический ЭУФ источник, лазерная плазма, Nd – YAG-лазер, генератор жидкометаллических капель, лазерная мишень, пространственная стабильность, эффективность конверсии, яркость источника, спектр ЭУФ излучения.

Полный текст: PDF файл (2192 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2016, 46:5, 473–480

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 19.01.2016

Образец цитирования: А. Ю. Виноходов, М. С. Кривокорытов, Ю. В. Сидельников, В. М. Кривцун, В. В. Медведев, К. Н. Кошелев, “Яркостный источник ЭУФ излучения на основе лазерной плазмы при использовании капельной жидкометаллической мишени”, Квантовая электроника, 46:5 (2016), 473–480 [Quantum Electron., 46:5 (2016), 473–480]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe16388
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v46/i5/p473

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Vinokhodov A.Yu., Krivokorytov M.S., Sidelnikov Yu.V., Krivtsun V.M., Medvedev V.V., Koshelev K.N., J. Appl. Phys., 120:16 (2016), 163304  crossref  isi  elib  scopus
    2. Vinokhodov A., Krivokorytov M., Sidelnikov Yu., Krivtsun V., Medvedev V., Bushuev V., Koshelev K., Glushkov D., Ellwi S., Rev. Sci. Instrum., 87:10 (2016), 103304  crossref  isi  elib  scopus
    3. J. Szilagyi, H. Parchamy, M. Masnavi, M. Richardson, J. Appl. Phys., 121:3 (2017), 033303  crossref  isi  scopus
    4. V. V. Kiyko, S. V. Gagarskiy, V. V. Nazarov, A. N. Sergeev, I. Ch. Buchvarov, Opt. Express, 25:26 (2017), 32457–32466  crossref  isi
    5. V. Sizyuk, T. Sizyuk, A. Hassanein, K. Johnson, J. Appl. Phys., 123:1 (2018), 013302  crossref  isi
    6. D. B. Abramenko, M. V. Spiridonov, P. V. Krainov, V. M. Krivtsun, D. I. Astakhov, V. V. Medvedev, M. van Kampen, D. Smeets, K. N. Koshelev, Appl. Phys. Lett., 112:16 (2018), 164102  crossref  isi
    7. J. Thomas, H. Ch. Joshi, A. Kumar, R. Philip, Phys. Plasmas, 25:10 (2018), 103108  crossref  isi  scopus
    8. Vinokhodov A.Yu., Yakushkin A.A., Yakushev O.F., Krivokorytov M.S., Krivtsun V.N., Medvedev V.V., Lash A.A., Koshelev K.N., Instrum. Exp. Tech., 62:2 (2019), 283–288  crossref  isi
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:172
    Полный текст:22
    Литература:14
    Первая стр.:20
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2019