RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2017, том 47, номер 4, страницы 385–392 (Mi qe16593)  

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Оптические элементы

Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования

С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, М. В. Свечников

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Описан разработанный в ИФМ РАН лабораторный рефлектометр для прецизионных измерений спектральных и угловых зависимостей коэффициентов отражения и пропускания оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм. Для монохроматизации излучения используется высокоразрешающий спектрометр Черни–Тернера с плоской дифракционной решеткой и двумя сферическими коллимирующими зеркалами. Фокусировка зондового монохроматического пучка на исследуемом образце производится с помощью тороидального зеркала. Источником рентгеновского излучения является высокоионизированная плазма, генерируемая при взаимодействии мощного лазерного пучка (плотность мощности 1011 – 1012 Вт/см2) на твердотельную мишень. Для стабилизации эмиссионных характеристик мишень совершает поступательное линейное и вращательное движения таким образом, чтобы каждый импульс приходился на новое место. Защита короткофокусной линзы от загрязнения продуктами эрозии осуществляется посредством разработанной электромагнитной системы. Исследуемые образцы устанавливаются на расположенный в специальной камере гониометр, который обеспечивает пять степеней свободы для образца с диаметром до 500 мм и две степени свободы для детектора. Масса образца может достигать 10 кг. Рентгеновское излучение регистрируется детектором, состоящим из внешнего CsI-фотокатода и двух микроканальных пластин. Аналогичный детектор выполняет функцию мониторинга интенсивности зондового пучка. Спектральное разрешение рефлектометра составляет 0.030 нм при использовании нарезных решеток с плотностью 900 штрих./мм (спектральный диапазон 5 – 20 нм) и 0.067 нм для голографических решеток с плотностью 400 штрих./мм (спектральный диапазон 10 – 50 нм). Анализируется вклад высших порядков дифракции решеток в интенсивность зондового сигнала и способы его учета при измерениях. Приводятся примеры применения рефлектометра для изучения многослойных зеркал и фильтров.

Ключевые слова: рефлектометр, гониометр, мягкое рентгеновское излучение, экстремальное ультрафиолетовое излучение, лазерная плазма, многослойное зеркало.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций
Российский научный фонд 16-42-01034
Работа поддержана Программой Президиума РАН «Экстремальное лазерное излучение: физика и фундаментальные приложения» и РНФ-DFG (грант № 16-42-01034) в части разработки методик измерений элементов многослойной рентгеновской оптики.


Полный текст: PDF файл (1101 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2017, 47:4, 385–392

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 06.02.2017
Исправленный вариант: 09.03.2017

Образец цитирования: С. А. Гарахин, И. Г. Забродин, С. Ю. Зуев, И. А. Каськов, А. Я. Лопатин, А. Н. Нечай, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, Н. Н. Цыбин, Н. И. Чхало, М. В. Свечников, “Лабораторный рефлектометр для исследования оптических элементов в диапазоне длин волн 5 – 50 нм: описание и результаты тестирования”, Квантовая электроника, 47:4 (2017), 385–392 [Quantum Electron., 47:4 (2017), 385–392]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe16593
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v47/i4/p385

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, S. V. Golubev, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechay, A. E. Pestov, N. N. Salashchenko, M. N. Toropov, N. N. Tsybin, A. V. Vodopyanov, S. Yulin, Appl. Phys. Lett., 112:22 (2018), 221101  crossref  isi
    2. N. I. Chkhalo, S. A. Garakhin, A. Ya. Lopatin, A. N. Nechay, A. E. Pestov, V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, N. N. Tsybin, S. Yu. Zuev, AIP Adv., 8:10 (2018), 105003  crossref  isi  scopus
    3. М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, С. Юлин, Квантовая электроника, 49:4 (2019), 380–385  mathnet; Quantum Electron., 49:4 (2019), 380–385  crossref  isi  elib
    4. В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, УФН, 190:1 (2020), 92–106  mathnet  crossref; V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95  crossref  isi  elib
    5. А. Н. Нечай, С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, В. Н. Полковников, Д. Г. Реунов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин, Квантовая электроника, 50:4 (2020), 408–413  mathnet; Quantum Electron., 50:4 (2020), 408–413  crossref  isi  elib
    6. А. О. Колесников, Е. А. Вишняков, Е. Н. Рагозин, А. Н. Шатохин, Квантовая электроника, 50:10 (2020), 967–975  mathnet; Quantum Electron., 50:10 (2020), 967–975  crossref  isi
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:221
    Полный текст:46
    Литература:23
    Первая стр.:14
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021