RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2019, том 49, номер 4, страницы 380–385 (Mi qe17026)  

Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)

Специальный выпуск 'Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом'

Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры

М. М. Барышеваa, С. А. Гарахинa, С. Ю. Зуевa, В. Н. Полковниковa, Н. Н. Салащенкоa, М. В. Свечниковa, Н. И. Чхалоa, С. Юлинb

a Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород
b Fraunhofer Institute for Applied Optics and Precision Engineering IOF, Germany

Аннотация: Разработан дизайн и экспериментально изучены апериодические и стековые шикорокополосные Mo/Si-зеркала для задач проекта "Кортес", оптимизированные на равномерное отражение в диапазоне длин волн 17–21 нм. Показано, что стековые структуры при незначительном проигрыше в величине коэффициента отражения оказываются намного более предпочтительными с точки зрения изготовления и аттестации, что, в свою очередь, позволяет корректировать процесс напыления и за небольшое число итераций достигать расчетных параметров многослойного зеркала.

Ключевые слова: ЭУФ, широкополосные зеркала, апериодические структуры, блок-структуры, стековые структуры, магнетронное напыление, обратная задача.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российская академия наук - Федеральное агентство научных организаций I.1
Российский фонд фундаментальных исследований 18-32-00173
Работа поддержана программой Президиума РАН I.1 “Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом”. Доработка программы Multifitting для решения задачи оптимизации в классе стековых структур выполнялась в рамках гранта РФФИ для молодых ученых № 18-32-00173.

Автор для корреспонденции

Полный текст: PDF файл (669 kB)
Первая страница: PDF файл
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2019, 49:4, 380–385

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 06.03.2019

Образец цитирования: М. М. Барышева, С. А. Гарахин, С. Ю. Зуев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, С. Юлин, “Сравнение подходов в изготовлении широкополосных зеркал для ЭУФ диапазона: апериодические и стековые структуры”, Квантовая электроника, 49:4 (2019), 380–385 [Quantum Electron., 49:4 (2019), 380–385]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe17026
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v49/i4/p380

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, УФН, 190:1 (2020), 92–106  mathnet  crossref; V. N. Polkovnikov, N. N. Salashchenko, M. V. Svechnikov, N. I. Chkhalo, Phys. Usp., 63:1 (2020), 83–95  crossref  isi  elib
    2. М. М. Барышева, И. В. Малышев, В. Н. Полковников, Н. Н. Салащенко, М. В. Свечников, Н. И. Чхало, Квантовая электроника, 50:4 (2020), 401–407  mathnet; Quantum Electron., 50:4 (2020), 401–407  crossref  isi  elib
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:114
    Литература:17
    Первая стр.:12
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021