RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2020, том 50, номер 2, страницы 201–204 (Mi qe17187)  

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Сверление в алмазе отверстий в виде песочных часов диаметром менее 100 мкм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов

Б. Джонгab, Б. Лиa, Ч. Х. Кимc, Ч. А. Чойc, Ч. Янгa, Е. Г. Салльa, Ч. В. Кимa, Д. Хоa, Дж. Джангbd, Г. Х. Кимa, В. Е. Яшинe

a Electro-Medical Device Research Center, Korea Electrotechnology Research Institute, Republic of Korea
b Department of Creative IT Engineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea
c GK UP, Republic of Korea
d School of Interdisciplinary Bioscience and Bioengineering, Pohang University of Science and Technology, Republic of Korea
e АО "Государственный оптический институт им. С. И. Вавилова", г. С.-Петербург

Аннотация: Представлены изображения микроотверстий в алмазе, полученных с помощью созданного нами фемтосекундного Yb : KGW-лазера. Использовался фемтосекундный лазерный источник с длительностью импульса излучения 230 фс на длине волны 1030 нм и размером пятна фокусировки 8.9 мкм. Проведена оценка влияния энергии и числа импульсов на геометрию микроотверстий (их диаметр, форму, угол конуса), а также на качество сверления. Продемонстрирована возможность сверления в образце алмаза отверстий в виде песочных часов, которые имеют одинаковые диаметры на входе (92 мкм) и на выходе (95 мкм) и гораздо меньший диаметр (28 мкм) суженной части внутри отверстия.

Ключевые слова: фемтосекундный лазер, лазер ультракоротких импульсов, лазерная микрообработка, лазерное сверление, алмаз.

Финансовая поддержка Номер гранта
Ministry of Science and ICT, Korea 16-12-N0101-85
IITP-2019-2011-1-00783
Работа поддержана Первичной исследовательской программой Корейского научно-исследовательского электротехнического института (KERI) через Национальный научно-технический совет (NST), финансируемый Министерством науки и ИКТ (MSIT) (№ 16-12-N0101-85) и MIST (Министерство науки и ИКТ) (Корея) в рамках творческой программы ICT Consilience (IITP-2019-2011-1-00783), курируемой Институтом планирования и оценки информационных и коммуникационных технологий (IITP).


Полный текст: PDF файл (1031 kB)
Первая страница: PDF файл
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2020, 50:2, 201–204

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 18.07.2019
Исправленный вариант: 14.10.2019

Образец цитирования: Б. Джонг, Б. Ли, Ч. Х. Ким, Ч. А. Чой, Ч. Янг, Е. Г. Салль, Ч. В. Ким, Д. Хо, Дж. Джанг, Г. Х. Ким, В. Е. Яшин, “Сверление в алмазе отверстий в виде песочных часов диаметром менее 100 мкм с помощью фемтосекундных лазерных импульсов”, Квантовая электроника, 50:2 (2020), 201–204 [Quantum Electron., 50:2 (2020), 201–204]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe17187
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v50/i2/p201

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:80
    Литература:4
    Первая стр.:10
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021