RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 2020, том 50, номер 4, страницы 408–413 (Mi qe17230)  

Экстремальные световые поля и их взаимодействие с веществом

Эффективность генерации излучения в полосе 8–14 нм ионами криптона при импульсном лазерном возбуждении

А. Н. Нечай, С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, В. Н. Полковников, Д. Г. Реунов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин

Институт физики микроструктур РАН, г. Нижний Новгород

Аннотация: Исследованы спектры излучения плазмы криптона в диапазоне 8–14 нм при возбуждении импульсной газовой струи излучением Nd :YAG-лазера с энергией импульса 0.85 Дж при длительности 5.2 нс, частоте следования 10 Гц и длине волны излучения 1.06 мкм. Спектр излучения криптона представляет собой широкую (8–14 нм) полосу с максимумом на длине волны 10.3 нм, образованную рядом значительно более узких линий. Проведена идентификация наблюдаемых линий и определена доля энергии лазерного импульса, преобразованная в эмиссионную полосу 8–14 нм и излученная в полупространство (2π ср). Максимальный коэффициент конверсии составил 21%. Осуществлено сравнение ожидаемой производительности литографических систем с источниками на основе ионов Sn, Xe и Kr для разных длин волн, соответствующих максимумам эмиссионных полос ионов этих материалов.

Ключевые слова: лазерная искра, плазма криптона, экстремальное ультрафиолетовое излучение, импульсная газовая мишень, коэффициент конверсии, литография.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 17-12-01227
Российский фонд фундаментальных исследований 18-02-00173
18-32-00671
19-07-00173
19-02-00081
Работа выполнена при поддержке РНФ (грант № 17-12-01227) и РФФИ (гранты № 18-02-00173, 18-32-00671, 19-07-00173 и 19-02-00081).


Полный текст: PDF файл (910 kB)
Первая страница: PDF файл
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 2020, 50:4, 408–413

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
Поступила в редакцию: 06.02.2020

Образец цитирования: А. Н. Нечай, С. А. Гарахин, А. Я. Лопатин, В. Н. Полковников, Д. Г. Реунов, Н. Н. Салащенко, М. Н. Торопов, Н. И. Чхало, Н. Н. Цыбин, “Эффективность генерации излучения в полосе 8–14 нм ионами криптона при импульсном лазерном возбуждении”, Квантовая электроника, 50:4 (2020), 408–413 [Quantum Electron., 50:4 (2020), 408–413]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe17230
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v50/i4/p408

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:74
    Литература:5
    Первая стр.:3
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020