RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1991, том 18, номер 2, страницы 183–185 (Mi qe3742)  

Лазеры

Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений

В. М. Борисовab, А. Ю. Виноходовab, С. М. Герасимовab, Е. В. Евстратовab, Ю. Б. Кирюхинab, С. Г. Кузнецовab, Ю. Ю. Степановab, В. А. Визирьab, В. И. Маныловab, С. П. Носенкоab, С. П. Сычевab, В. В. Червяковab, Н. Г. Шубкинab

a Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова, Москва
b Институт сильноточной электроники СО АН СССР, Томск

Аннотация: Приведены результаты по созданию мощного эксимерного лазера, способного генерировать излучение λ = 308 нм со средней мощностью ~600 Вт. Система питания лазера сконструирована на базе четырех коммерческих тиратронов и магнитного ключа. В качестве примера использования такого лазера приводятся результаты по созданию структуры отверстий в полиимиде, нанесенном на алюминий. Такая бинарная пленка является гибким носителем, используемым для монтажа больших интегральных схем.

Полный текст: PDF файл (838 kB)

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1991, 21:2, 162–164

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826.038.823
PACS: 42.55.Lt, 42.62.Cf, 42.60.By, 42.79.Ag, 42.60.Jf
Поступила в редакцию: 02.10.1990

Образец цитирования: В. М. Борисов, А. Ю. Виноходов, С. М. Герасимов, Е. В. Евстратов, Ю. Б. Кирюхин, С. Г. Кузнецов, Ю. Ю. Степанов, В. А. Визирь, В. И. Манылов, С. П. Носенко, С. П. Сычев, В. В. Червяков, Н. Г. Шубкин, “Импульсно-периодический XeCl-лазер мощностью 600 Вт для технологических применений”, Квантовая электроника, 18:2 (1991), 183–185 [Sov J Quantum Electron, 21:2 (1991), 162–164]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe3742
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v18/i2/p183

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:64
    Полный текст:46
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020