RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ЛИЧНЫЙ КАБИНЕТ
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1996, том 23, номер 7, страницы 637–641 (Mi qe739)  

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Лазерное травление поверхности поликристаллического карбида кремния излучением лазера на парах меди

В. В. Воронов, С. И. Долгаев, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев

Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва

Аннотация: Исследовано лазерное травление поликристаллического карбида кремния излучением лазера на парах меди в воздухе и в жидких средах (вода, диметилсульфоксид). Максимальная скорость травления керамики SiC в воздухе достигает 0.24 мкм/имп., в диметилсульфоксиде — 0.07 мкм/имп. при плотности энергии 16 Дж/см2. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного анализа исследовано изменение морфологии и химического состава протравленной поверхности SiC. Обнаружено образование при травлении в воздухе частично аморфизованного карбида кремния и микрокристаллов свободного Si с характерным размером около 30 нм. Показано, что на поверхности карбида кремния после лазерного травления возможно восстановление меди из раствора для химической металлизации. Полученные металлические покрытия имеют высокую адгезию к поверхности (до 30 Н/мм2).

Полный текст: PDF файл (213 kB)

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1996, 26:7, 621–625

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 81.65.Cf, 42.62.Cf
Поступила в редакцию: 01.01.1996

Образец цитирования: В. В. Воронов, С. И. Долгаев, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев, “Лазерное травление поверхности поликристаллического карбида кремния излучением лазера на парах меди”, Квантовая электроника, 23:7 (1996), 637–641 [Quantum Electron., 26:7 (1996), 621–625]

Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/qe739
  • http://mi.mathnet.ru/rus/qe/v23/i7/p637

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Ahmed N., Darwish S., Alahmari A.M., “Laser Ablation and Laser-Hybrid Ablation Processes: A Review”, Mater. Manuf. Process., 31:9 (2016), 1121–1142  crossref  isi  elib  scopus
    2. Alahmari A.M., Ahmed N., Darwish S., “Laser beam micro-machining under water immersion”, Int. J. Adv. Manuf. Technol., 83:9-12 (2016), 1671–1681  crossref  isi  scopus
    3. Darwish Saied Muhammed Hassan Ahmed N. Al-Ahmari A.M., “Laser Beam Micro-Milling of Micro-Channels in Aerospace Alloys Introduction”, Laser Beam Micro-Milling of Micro-Channels in Aerospace Alloys, Advanced Structured Materials, 68, ed. Darwish S. Ahmed N. AlAhmari A., Springer-Verlag Singapore Pte Ltd, 2017, 1+  crossref  isi  scopus
  • Квантовая электроника Quantum Electronics
    Просмотров:
    Эта страница:178
    Полный текст:61

     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2019