Сибирский журнал индустриальной математики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Подписка
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Сиб. журн. индустр. матем.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Сиб. журн. индустр. матем., 2020, том 23, номер 2, страницы 93–105 (Mi sjim1090)  
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb

a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 1, стр. 4, г. Москва 119234, Россия
b Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, ул. Ленинские горы, д. 1, стр. 2, г. Москва 119991, Россия

Аннотация: Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных покрытий с использованием оптических измерений. Вводится новый нелокальный алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоёв оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Показывается, что нелокальный алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без коррекции уровня сигнала прерывания напыления, так и с коррекцией этого уровня.

Ключевые слова: обратные задачи, анализ экспериментальных данных, вычислительные алгоритмы, тонкослойные покрытия.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16–11–10219
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 16–11–10219).


DOI: https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207

Полный текст: PDF файл (639 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Journal of Applied and Industrial Mathematics, 2020, 14:2, 329–338

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
УДК: 519.6
Статья поступила: 13.12.2019
Окончательный вариант: 03.02.2020

Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных”, Сиб. журн. индустр. матем., 23:2 (2020), 93–105; J. Appl. Industr. Math., 14:2 (2020), 329–338

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag20}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных
\jour Сиб. журн. индустр. матем.
\yr 2020
\vol 23
\issue 2
\pages 93--105
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/sjim1090}
\crossref{https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=45482737}
\transl
\jour J. Appl. Industr. Math.
\yr 2020
\vol 14
\issue 2
\pages 329--338
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1990478920020118}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85087756057}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/sjim1090
  • http://mi.mathnet.ru/rus/sjim/v23/i2/p93

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Tikhonravov A.V., Kochikov I.V., Lagutina A.A., Lagutin I.S., Lukyanenko D.V., Sharapova S.A., Yagola A.G., “Correlation of Errors in Monochromatic Monitoring of Optical Coatings Deposition”, Mosc. Univ. Phys. Bull., 75:6 (2020), 578–584  crossref  mathscinet  isi  scopus
    		• Сибирский журнал индустриальной математики
    Просмотров:
    Эта страница:82
    Полный текст:10
    Литература:8
    Первая стр.:7
     
    Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021