|
Сиб. журн. индустр. матем., 2020, том 23, номер 2, страницы 93–105
(Mi sjim1090)
|
|
|
|
Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных
И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 1, стр. 4, г. Москва 119234, Россия
b Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, ул. Ленинские горы, д. 1, стр. 2, г. Москва 119991, Россия
Аннотация:
Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных покрытий с использованием оптических измерений. Вводится новый нелокальный
алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса
напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования
традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоёв оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Показывается, что нелокальный
алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без
коррекции уровня сигнала прерывания напыления, так и с коррекцией этого
уровня.
Ключевые слова:
обратные задачи, анализ экспериментальных данных, вычислительные алгоритмы, тонкослойные покрытия.
Финансовая поддержка |
Номер гранта |
Российский научный фонд  |
16–11–10219 |
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 16–11–10219). |
DOI:
https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207
Полный текст:
PDF файл (639 kB)
Первая страница: PDF файл
Список литературы:
PDF файл
HTML файл
Англоязычная версия:
Journal of Applied and Industrial Mathematics, 2020, 14:2, 329–338
Реферативные базы данных:
Тип публикации:
Статья
УДК:
519.6 Статья поступила: 13.12.2019 Окончательный вариант: 03.02.2020
Образец цитирования:
И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных”, Сиб. журн. индустр. матем., 23:2 (2020), 93–105; J. Appl. Industr. Math., 14:2 (2020), 329–338
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag20}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных
\jour Сиб. журн. индустр. матем.
\yr 2020
\vol 23
\issue 2
\pages 93--105
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/sjim1090}
\crossref{https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207}
\transl
\jour J. Appl. Industr. Math.
\yr 2020
\vol 14
\issue 2
\pages 329--338
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1990478920020118}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85087756057}
Образцы ссылок на эту страницу:
http://mi.mathnet.ru/sjim1090 http://mi.mathnet.ru/rus/sjim/v23/i2/p93
Citing articles on Google Scholar:
Russian citations,
English citations
Related articles on Google Scholar:
Russian articles,
English articles
|
Просмотров: |
Эта страница: | 46 | Литература: | 7 | Первая стр.: | 5 |
|