RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


ТВТ, 1998, том 36, выпуск 1, страницы 5–12 (Mi tvt2188)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Исследование плазмы

Резонаторный СВЧ-разряд в смеси водорода с метаном

Ю. А. Лебедев, И. В. Солдатова, И. Л. Эпштейн, О. И. Холодкевич

Институт нефтехимического синтеза им. А. В. Топчиева РАН, г. Москва

Аннотация: Предложена физическая модель процессов в плазме СВЧ-разряда в смеси $\mathrm{H}_2 + \mathrm{CH}_4(2%) + \mathrm{Ar}(2%)$ в диапазонах давлений $0.7$$4.0$ Тор и поглощенной плазмой мощности $3$$60$ Вт (объем плазмы – $10$ см$^3$). Использованы методы эмиссионной спектроскопии, реабсорбции излучения и двойных электрических зондов. Экспериментальные результаты проанализированы совместно с данными математического моделирования. Исследовано влияние газовых добавок на свойства плазмы. Оценены возможности применения метода актинометрии для диагностики плазмы. Обсуждены некоторые свойства пленок, осажденных на $\mathrm{Si}$-подложках в такой плазме.

Полный текст: PDF файл (2533 kB)

Англоязычная версия:
High Temperature, 1998, 36:1, 1–8

Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.932
Поступила в редакцию: 05.11.1996

Образец цитирования: Ю. А. Лебедев, И. В. Солдатова, И. Л. Эпштейн, О. И. Холодкевич, “Резонаторный СВЧ-разряд в смеси водорода с метаном”, ТВТ, 36:1 (1998), 5–12; High Temperature, 36:1 (1998), 1–8

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LebSolEps98}
\by Ю.~А.~Лебедев, И.~В.~Солдатова, И.~Л.~Эпштейн, О.~И.~Холодкевич
\paper Резонаторный СВЧ-разряд в смеси водорода с метаном
\jour ТВТ
\yr 1998
\vol 36
\issue 1
\pages 5--12
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt2188}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1998
\vol 36
\issue 1
\pages 1--8
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=000072269700001}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/tvt2188
  • http://mi.mathnet.ru/rus/tvt/v36/i1/p5

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Lebedev Yu.A., “Microwave Discharges At Low Pressures and Peculiarities of the Processes in Strongly Non-Uniform Plasma”, Plasma Sources Sci. Technol., 24:5 (2015), 053001  crossref  isi  elib
  • Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Просмотров:
    Эта страница:143
    Полный текст:72
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020