RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


ТВТ, 1998, том 36, выпуск 2, страницы 194–200 (Mi tvt2824)  

Исследование плазмы

Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном

С. В. Автаева, М. З. Мамытбеков, Д. К. Оторбаев

Кыргызско-Российский Славянский университет, г. Бишкек

Аннотация: Изучены параметры метаносодержащей плазмы в асимметричном высокочастотном разряде емкостного типа, активированном внешним магнитным полем. Для диагностики параметров плазмы ис­пользовались методы оптической эмиссионной спектроскопии, двойной зонд Ленгмюра и термопара. Экспериментально определены температура газа, вращательная температура возбуждения радика­лов $\mathrm{CH}$, температура электронов, концентрация заряженных частиц и концентрация атомарного во­дорода. В качестве рабочих газов использовались метан, аргон и смеси метана с аргоном. Проведе­но исследование осаждения в метаносодержащей плазме углеродосодержащих пленок на стеклян­ные подложки и изучены оптические свойства пленок. Показано, что магнитное поле существенно влияет на параметры плазмы и на свойства осаждаемых в высокочастотном разряде углеродосодер­жащих пленок.

Полный текст: PDF файл (1890 kB)

Англоязычная версия:
High Temperature, 1998, 36:2, 176–182

Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.224:541.110
Поступила в редакцию: 17.12.1996

Образец цитирования: С. В. Автаева, М. З. Мамытбеков, Д. К. Оторбаев, “Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном”, ТВТ, 36:2 (1998), 194–200; High Temperature, 36:2 (1998), 176–182

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AvtMamOto98}
\by С.~В.~Автаева, М.~З.~Мамытбеков, Д.~К.~Оторбаев
\paper Магнетронный высокочастотный разряд в метане, аргоне и смеси метана с аргоном
\jour ТВТ
\yr 1998
\vol 36
\issue 2
\pages 194--200
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt2824}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1998
\vol 36
\issue 2
\pages 176--182
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=000073142400003}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/tvt2824
  • http://mi.mathnet.ru/rus/tvt/v36/i2/p194

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Просмотров:
    Эта страница:117
    Полный текст:55
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020