RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


ТВТ, 1992, том 30, выпуск 2, страницы 372–378 (Mi tvt3283)  

Методы экспериментальных исследований и измерений

Измерение температуры кремниевой пластины в плазмохимическом реакторе методом лазерной интерферометрии

А. Н. Магунов, Е. В. Мудров

Институт микроэлектроники РАН, г. Ярославль

Аннотация: Проведено экспериментальное определение температурной зависимости показателя преломления монокристаллического кремния в диапазоне $20$–$350^{\circ}C$. Методом интерферометрии зарегистрирована кинетика нагрева и остывания пластины в кислородной плазме ВЧ-разряда. Температурная чувствительность метода может достигать $200%$ К$^{-1}$ мм$^{-1}$, пороговая чувствительность (изменение температуры, которое можно обнаружить) $\simeq 0,01^{\circ}C$.

Полный текст: PDF файл (261 kB)

Англоязычная версия:
High Temperature, 1992, 30:2, 300–305

Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 533.924+535.417+536.5+621.315.592
Поступила в редакцию: 24.10.1990

Образец цитирования: А. Н. Магунов, Е. В. Мудров, “Измерение температуры кремниевой пластины в плазмохимическом реакторе методом лазерной интерферометрии”, ТВТ, 30:2 (1992), 372–378; High Temperature, 30:2 (1992), 300–305

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MagMud92}
\by А.~Н.~Магунов, Е.~В.~Мудров
\paper Измерение температуры кремниевой пластины в плазмохимическом реакторе методом лазерной интерферометрии
\jour ТВТ
\yr 1992
\vol 30
\issue 2
\pages 372--378
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt3283}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1992
\vol 30
\issue 2
\pages 300--305
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=A1992LB60000022}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/tvt3283
  • http://mi.mathnet.ru/rus/tvt/v30/i2/p372

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Просмотров:
    Эта страница:72
    Полный текст:46
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020