RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


ТВТ, 1992, том 30, выпуск 6, страницы 1181–1188 (Mi tvt3701)  

Методы экспериментальных исследований и измерений

Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин

Ю. М. Мацевитый, Р. Ж. Ержанов, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев

Харьковский институт проблем машиностроения

Аннотация: На основании разработанной методики идентификации теплотехнологических параметров построена оптимальная стратегия управления режимом активационного отжига полупроводниковых пластин с учетом ограничений на максимальные градиент и перепад температур по толщине пластины. Исследована динамика распределения примеси в активированном слое пластины при различных режимах активационного отжига.

Полный текст: PDF файл (344 kB)

Англоязычная версия:
High Temperature, 1992, 30:6, 980–985

Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 536.24.02
Поступила в редакцию: 11.03.1992

Образец цитирования: Ю. М. Мацевитый, Р. Ж. Ержанов, В. М. Тимченко, В. П. Шерышев, “Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин”, ТВТ, 30:6 (1992), 1181–1188; High Temperature, 30:6 (1992), 980–985

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{MatErzTim92}
\by Ю.~М.~Мацевитый, Р.~Ж.~Ержанов, В.~М.~Тимченко, В.~П.~Шерышев
\paper Оптимизация параметров активационного отжига полупроводниковых пластин
\jour ТВТ
\yr 1992
\vol 30
\issue 6
\pages 1181--1188
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt3701}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1992
\vol 30
\issue 6
\pages 980--985
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=A1992LR83100022}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/tvt3701
  • http://mi.mathnet.ru/rus/tvt/v30/i6/p1181

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Просмотров:
    Эта страница:51
    Полный текст:41
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020