RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



ТВТ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


ТВТ, 1989, том 27, выпуск 6, страницы 1185–1189 (Mi tvt4102)  

Методы экспериментальных исследований и измерений

Синтез тонких пленок нитрида алюминия

А. В. Кириллин, А. В. Костановский, Л. А. Жиляков

Институт высоких температур Академии наук СССР, г. Москва

Аннотация: Рассмотрен способ получения тонких пленок нитрида алюминия методом прямого термического азотирования пленок алюминия. Показано, что при температурах $1200$$1250^\circ$ С и давлениях азота $0{,}15$$1$ МПа происходит полное азотирование пленок алюминия толщиной $0{,}7$$0{,}8$ мкм. Получены текстурированные пленки, идентифицированные как $\mathrm{AlN}$, методом рентгеноструктурного анализа на ДРОН-3.

Полный текст: PDF файл (371 kB)

Англоязычная версия:
High Temperature, 1989, 27:6, 948–952

Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 546.621.171.1:539.216
Поступила в редакцию: 22.12.1988

Образец цитирования: А. В. Кириллин, А. В. Костановский, Л. А. Жиляков, “Синтез тонких пленок нитрида алюминия”, ТВТ, 27:6 (1989), 1185–1189; High Temperature, 27:6 (1989), 948–952

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KirKosZhy89}
\by А.~В.~Кириллин, А.~В.~Костановский, Л.~А.~Жиляков
\paper Синтез тонких пленок нитрида алюминия
\jour ТВТ
\yr 1989
\vol 27
\issue 6
\pages 1185--1189
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/tvt4102}
\transl
\jour High Temperature
\yr 1989
\vol 27
\issue 6
\pages 948--952
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=A1989DY47000022}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/tvt4102
  • http://mi.mathnet.ru/rus/tvt/v27/i6/p1185

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Теплофизика высоких температур Теплофизика высоких температур
    Просмотров:
    Эта страница:88
    Полный текст:47
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020