RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Подписка
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


УФН, 2007, том 177, номер 5, страницы 473–510 (Mi ufn461)  

Эта публикация цитируется в 74 научных статьях (всего в 74 статьях)

ОБЗОРЫ АКТУАЛЬНЫХ ПРОБЛЕМ

Магнетронная плазма и нанотехнология

П. В. Каштановa, Б. М. Смирновa, Р. Хипплерb

a Институт высоких температур РАН
b Institute of Physics, University of Greifswald

Аннотация: Рассмотрены процессы в потоке магнетронной плазмы, протекающие с участием атомов и кластеров металла. Представлены процессы образования атомов металла вблизи катода и их нуклеации в потоке буферного газа. Прокачка буферного газа с кластерами через магнетронную камеру сопровождается нарушением равновесия между потоком буферного газа и кластерами вблизи выходного отверстия и прилипанием кластеров к стенкам. Проанализированы процессы зарядки кластеров вдали от катода, нарушение равновесия между потоком и кластерами, а также прилипание заряженных кластеров к стенкам камеры. Эти процессы определяют выходные параметры кластерного пучка из магнетронной камеры. Представлен характер напыления кластеров на мишень, которой является как твердая поверхность, так и частицы пылевой плазмы.

DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473

Полный текст: PDF файл (7668 kB)
Полный текст: http://www.ufn.ru/ru/articles/2007/5/a/
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2007, 50:5, 455–488

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 36.40.-c, 52.80.Sm, 61.46.Bc
Поступила: 8 июля 2006 г.
Доработана: 13 ноября 2006 г.

Образец цитирования: П. В. Каштанов, Б. М. Смирнов, Р. Хипплер, “Магнетронная плазма и нанотехнология”, УФН, 177:5 (2007), 473–510; Phys. Usp., 50:5 (2007), 455–488

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KasSmiHip07}
\by П.~В.~Каштанов, Б.~М.~Смирнов, Р.~Хипплер
\paper Магнетронная плазма и нанотехнология
\jour УФН
\yr 2007
\vol 177
\issue 5
\pages 473--510
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn461}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.0177.200705a.0473}
\adsnasa{http://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2007PhyU...50..455K}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2007
\vol 50
\issue 5
\pages 455--488
\crossref{https://doi.org/10.1070/PU2007v050n05ABEH006138}
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=000249374100001}
\scopus{http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-34548594195}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/ufn461
  • http://mi.mathnet.ru/rus/ufn/v177/i5/p473

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Demchishin A.V., Evsyukov A.N., Goncharov A.A., Kostin E.G., “The investigation of the optical spectra in process of magnetron deposition”, Problems of Atomic Science and Technology, 2008, no. 6, 195–197  isi
    2. Lukyanov G.A., Nikolaeva L.Yu., Bykov N.Yu., “Direct Simulation Monte-Carlo of clusters formation process in magnetron-type generator”, Fullerenes, Nanotubes and Carbon Nanostructures, 16:5-6 (2008), 551–554  crossref  isi  scopus
    3. Goncharov A.A., Dobrovol's'kii A.N., Evsyukov A.M., Protsenko I.M., Litovko I.V., “Plasmadynamical peculiarities of the cylindrical magnetron-type gas discharge”, Problems of Atomic Science and Technology, 2008, no. 4, 189–194  isi
    4. Straňák V., Čada M., Quaas M., Block S., Bogdanowicz R., Kment Š., Wulff H., Hubička Z., Helm Ch.A., Tichý M., Hippler R., “Physical properties of homogeneous TiO$_2$ films prepared by high power impulse magnetron sputtering as a function of crystallographic phase and nanostructure”, J. Phys. D Appl. Phys., 42:10 (2009), 105204, 12 pp.  crossref  adsnasa  isi  scopus
    5. Berndt J., Kovačević E., Stefanović I., Stepanović O., Hong S.H., Boufendi L., Winter J., “Some Aspects of Reactive Complex Plasmas”, Contributions to Plasma Physics, 49:3 (2009), 107–133  crossref  adsnasa  isi  scopus
    6. Blonskii I.V., Goncharov A.A., Demchishin A.V., Evsyukov A.N., Kostin E.G., Sal'nikov V.A., Tereshchenko A.G., Tkachenko L.N., “Plasma-dynamic and optical characteristics of magnetron-type cylindrical gas discharge under conditions of titanium nitride film synthesis”, Tech. Phys., 54:7 (2009), 1052–1057  crossref  isi  scopus
    7. Ekpe S.D., Jimenez F.J., Field D.J., Davis M.J., Dew S.K., “Effect of magnetic field strength on deposition rate and energy flux in a dc magnetron sputtering system”, J. Vac. Sci. Technol. A, 27:6 (2009), 1275–1280  crossref  isi  elib  scopus
    8. Yu. M. Nikolaenko, A. B. Mukhin, V. A. Chaika, V. V. Burkhovetskii, “Production of high-quality manganite-based films on an improved VUP-5M magnetron device”, Tech Phys, 55:8 (2010), 1189  crossref  isi  scopus
    9. P. V. Kashtanov, B. M. Smirnov, R. Hippler, “Efficiency of cluster generation in a magnetron discharge”, Europhys Lett, 91:6 (2010), 63001  crossref  adsnasa  isi  scopus
    10. P. V. Kashtanov, B. M. Smirnov, “Nanoclusters: Properties and processes”, High Temp, 48:6 (2010), 846  mathnet  crossref  isi  elib  scopus
    11. Knyazeva A.G., Shanin S.A., “Model of the Coating Growth Under the Conditions of Magnetron Sputtering Deposition”, Russ. Phys. J., 53:1 (2010), 83–89  crossref  zmath  isi  elib  scopus
    12. Yu. G. Kabaldin, S. V. Seryi, S. N. Murav’ev, A. A. Prosolovich, E. V. Simagina, “Improving cutter performance by the application of nanostructural coatings”, Russ. Engin. Res, 30:3 (2010), 235  crossref  scopus
    13. V. D. Okunev, S. J. Lewandowski, T. A. D’yachenko, A. Abal’oshev, P. Gierłowski, V. A. Isaev, “Disordering of the electronic structure of YBaCuO amorphous films upon incorporation of crystalline clusters formed in laser-induced plasma into their composition”, Phys. Solid State, 53:1 (2011), 13  crossref  adsnasa  isi  scopus
    14. T. Peter, M. Wegner, V. Zaporojtchenko, T. Strunskus, S. Bornholdt, H. Kersten, F. Faupel, “Metal/polymer nanocomposite thin films prepared by plasma polymerization and high pressure magnetron sputtering”, Surface and Coatings Technology, 205 (2011), S38  crossref  isi  scopus
    15. Vítězslav Straňák, Stephan Block, Steffen Drache, Zdeněk Hubička, Christiane A. Helm, Lubomír Jastrabík, Milan Tichý, Rainer Hippler, “Size-controlled formation of Cu nanoclusters in pulsed magnetron sputtering system”, Surface and Coatings Technology, 205:8-9 (2011), 2755  crossref  isi  scopus
    16. Dosbolayev M.K., Ramazanov T.S., Daniyarov T.T., Silamiya M., Gabdullin M.T., “Coating of Thin Nanofilms on Microparticles in Dusty Plasma”, Dusty/Complex Plasmas: Basic and Interdisciplinary Research - Sixth International Conference on the Physics of Dusty Plasmas, AIP Conference Proceedings, 1397, 2011  isi
    17. Корженко Д.В., Кривобоков В.П., Янин С.Н., “Моделирование электрического разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях”, Известия высших учебных заведений. Физика, 54:11-2 (2011), 86–89  elib
    18. Панькин Н.А., Смоланов Н.А., “Молекулярно-динамическое моделирование взаимодействия ионов с нанокластерами c парным межатомным взаимодействием”, Прикладная физика, 2011, № 3, 39–42  elib
    19. Б. М. Смирнов, “Процессы с участием кластеров и малых частиц в буферном газе”, УФН, 181:7 (2011), 713–745  mathnet  crossref  adsnasa; B. M. Smirnov, “Processes involving clusters and small particles in a buffer gas”, Phys. Usp., 54:7 (2011), 691–721  crossref  isi
    20. А. В. Гончаров, П. В. Каштанов, “Моделирование процессов образования и роста кластеров при конденсации атомарного пара”, ТВТ, 49:2 (2011), 187–195  mathnet  elib; A. V. Goncharov, P. V. Kashtanov, “Modeling of Cluster Formation and Growth under Atomic Vapor Condensation”, High Temperature, 49:2 (2011), 178–186  crossref  isi  elib
    21. A. V. Rogov, S. S. Fanchenko, “Formation of gold nanoparticles and their aggregates in a liquid at magnetron deposition”, Tech. Phys, 57:2 (2012), 286  crossref  mathscinet  isi  elib  scopus
    22. E. N. Kudryavtseva, V. F. Pichugin, N. N. Nikitenkov, V. S. Sypchenko, N. S. Morozova, I. A. Shulepov, I. V. Dushkin, “Study of coatings based on titanium oxides and oxynitrides using a set of methods”, J. Synch. Investig, 6:4 (2012), 688  crossref  isi  scopus
    23. M. Ganeva, T. Peter, S. Bornholdt, H. Kersten, T. Strunskus, V. Zaporojtchenko, F. Faupel, R. Hippler, “Mass Spectrometric Investigations of Nano-Size Cluster Ions Produced by High Pressure Magnetron Sputtering”, Contrib. Plasma Phys., 52:10 (2012), 881–889  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    24. M. Ganeva, A.V. Pipa, R. Hippler, “The influence of target erosion on the mass spectra of clusters formed in the planar DC magnetron sputtering source”, Surface and Coatings Technology, 213 (2012), 41–47  crossref  isi  scopus
    25. N Nafarizal, K Sasaki, “Synthesis characteristics of Cu particulates in high-pressure magnetron sputtering plasmas studied byin situlaser-light scattering”, J. Phys. D: Appl. Phys, 45:50 (2012), 505202  crossref  adsnasa  isi  scopus
    26. Tilo Peter, Oleksandr Polonskyi, Björn Gojdka, Amir Mohammad Ahadi, Thomas Strunskus, Vladimir Zaporojtchenko, Hynek Biederman, Franz Faupel, “Influence of reactive gas admixture on transition metal cluster nucleation in a gas aggregation cluster source”, J. Appl. Phys, 112:11 (2012), 114321  crossref  isi  scopus
    27. Martynenko Yu.V., Rogov A.V., Shul'ga V.I., “Angular Distribution of Atoms During the Magnetron Sputtering of Polycrystalline Targets”, Tech. Phys., 57:4 (2012), 439–444  crossref  isi  elib  scopus
    28. Муслимов А.Э., Буташин А.В., Коновко А.А., Смирнов И.С., Рощин Б.С., Волков Ю.О., Ангелуц А.А., Андреев А.В., Шкуринов А.П., Каневский В.М., Асадчиков В.Е., “Упорядоченные наноструктуры золота на поверхности сапфира: получение и оптические исследования”, Кристаллография, 57:3 (2012), 471–471  elib; A. E. Muslimov, A. V. Butashin, A. A. Konovko, I. S. Smirnov, B. S. Roshchin, Yu. O. Volkov, A. A. Angelutz, A. V. Andreev, A. P. Shkurinov, V. M. Kanevskii, V. E. Asadchikov, “Ordered gold nanostructures on sapphire surfaces: Fabrication and optical investigations”, Crystallogr. Rep, 57:3 (2012), 415  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    29. Барченко В.Т., Крупович Н.В., Удовиченко С.Ю., “Влияние потока кластеров металла на условие горения магнетронного разряда”, Известия санкт-петербургского государственного электротехнического университета ЛЭТИ, 2012, № 3, 3–8  elib
    30. Градов В.М., Зимин А.М., Кривицкий С.Е., Серушкин С.В., Тройнов В.И., “Автоматизированная диагностика плазмы магнетронного разряда по эмиссионным атомно-молекулярным спектрам”, Прикладная физика, 2012, № 3, 44–49  elib; V. M. Gradov, A. M. Zimin, S. E. Krivitskiy, S. V. Serushkin, V. I. Troynov, “Automated diagnostics of a magnetron discharge plasma based on atomic molecular emission spectra”, Plasma Phys. Rep, 38:13 (2012), 1099  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    31. Квасов Н.Т., Пунько А.В., Дорошевич И.Л., Петухов Ю.А., Углов В.В., Чибирай М.С., Асташинский В.М., “Динамика мелкодисперсных включений, массоперенос и формирование новых фаз в компрессионной плазме”, Поверхность. рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2012, № 2, 52–52  mathscinet  zmath  elib; N. T. Kvasov, A. V. Pun’ko, I. L. Doroshevich, Yu. A. Petukhov, V. V. Uglov, M. S. Chibirai, V. M. Astashinskii, “Dynamics of finely dispersed inclusions, mass transfer, and phase formation in a compression plasma”, J. Synch. Investig, 6:1 (2012), 145  crossref  isi  scopus
    32. V Sushkov, H T Do, M Cada, Z Hubicka, R Hippler, “Time-resolved tunable diode laser absorption spectroscopy of excited argon and ground-state titanium atoms in pulsed magnetron discharges”, Plasma Sources Sci. Technol, 22:1 (2013), 015002  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    33. Marina Ganeva, A.V. Pipa, B.M. Smirnov, P.V. Kashtanov, Rainer Hippler, “Velocity distribution of mass-selected nano-size cluster ions”, Plasma Sources Sci. Technol, 22:4 (2013), 045011  crossref  isi  scopus
    34. Peter T., Rehders S., Schuermann U., Strunskus T., Zaporojtchenko V., Faupel F., “High Rate Deposition System for Metal-Cluster/Sioxcyhz-Polymer Nanocomposite Thin Films”, J. Nanopart. Res., 15:6 (2013), 1710  crossref  isi  elib  scopus
    35. A. Rai, A. Mutzke, G. Bandelow, R. Schneider, M. Ganeva, “Operational limit of a planar DC magnetron cluster source due to target erosion”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, 2013  crossref  isi  scopus
    36. Cathal Cassidy, Vidyadhar Singh, Panagiotis Grammatikopoulos, Flyura Djurabekova, Kai Nordlund, “Inoculation of silicon nanoparticles with silver atoms”, Sci. Rep, 3 (2013)  crossref  zmath  isi  scopus
    37. A.M.ohammad Ahadi, Vladimir Zaporojtchenko, Tilo Peter, Oleksandr Polonskyi, Thomas Strunskus, “Role of oxygen admixture in stabilizing TiO x nanoparticle deposition from a gas aggregation source”, J Nanopart Res, 15:12 (2013)  crossref  isi  scopus
    38. Rawat R.S., “High-Energy-Density Pinch Plasma: a Unique Nonconventional Tool for Plasma Nanotechnology”, IEEE Trans. Plasma Sci., 41:4, 1, SI (2013), 701–715  crossref  adsnasa  isi  elib  scopus
    39. Marina Maicu, Ralph Schmittgens, Dominic Hecker, Daniel Glöß, Peter Frach, “Synthesis and deposition of metal nanoparticles by gas condensation process”, J. Vac. Sci. Technol. A, 32:2 (2014), 02B113  crossref  isi  scopus
    40. K.R.. Bray, Ch.Q.. Jiao, J.N.. DeCerbo, “Influence of carrier gas on the nucleation and growth of Nb nanoclusters formed through plasma gas condensation”, J. Vac. Sci. Technol. B, 32:3 (2014), 031805  crossref  mathscinet  isi  scopus
    41. Vidyadhar Singh, Cathal Cassidy, Panagiotis Grammatikopoulos, Flyura Djurabekova, Kai Nordlund, “Heterogeneous Gas-phase Synthesis and Molecular Dynamics Modeling of Janus and Core-satellite Si-Ag Nanoparticles”, J. Phys. Chem. C, 2014, 1406020038  crossref  isi  scopus
    42. M. Ganeva, P.V. Kashtanov, B.M. Smirnov, R. Hippler, “Angular and velocity distribution of nano-size cluster beams in a gas flow”, Vacuum, 2014  crossref  isi  scopus
    43. Steffen Drache, Vitezslav Stranak, Zdenek Hubicka, Florian Berg, Milan Tichy, “Study of mass and cluster flux in a pulsed gas system with enhanced nanoparticle aggregation”, J. Appl. Phys, 116:14 (2014), 143303  crossref  isi  scopus
    44. A. B. Tolstoguzov, M. N. Drozdov, I. A. Zeltser, K. A. Arushanov, O.M.. N. D. Teodoro, “Ion-plasma treatment of reed switch contacts: A study by time-of-flight secondary ion mass spectrometry”, J Anal Chem, 69:13 (2014), 1245  crossref  isi  scopus
    45. Petrov V., Vertyanov D., Timoshenkov S., Nikolaev V., “Surface Treatment of Polyimide Film For Metal Magnetron Deposition in Vacuum”, International Conference on Micro- and Nano-Electronics 2014, Proceedings of Spie, 9440, ed. Orlikovsky A., Spie-Int Soc Optical Engineering, 2014, 94400A  crossref  isi  scopus
    46. Junlei Zhao, Vidyadhar Singh, Panagiotis Grammatikopoulos, Cathal Cassidy, Kengo Aranishi, “Crystallization of silicon nanoclusters with inert gas temperature control”, Phys. Rev. B, 91:3 (2015)  crossref  isi  scopus
    47. A. V. Rogov, Yu. V. Kapustin, Yu. V. Martynenko, “Factors determining the efficiency of magnetron sputtering. Optimization criteria”, Tech. Phys, 60:2 (2015), 283  crossref  isi  scopus
    48. A. S. Ivanov, A. F. Pal, A. N. Ryabinkin, A. O. Serov, E. A. Ekimov, “Application of dusty plasma for production of disperse composite materials”, Russ J Gen Chem, 85:5 (2015), 1270  crossref  isi  scopus
    49. Tomy Acsente, R.F.lorentina Negrea, L.C.ristina Nistor, Constantin Logofatu, Elena Matei, “Synthesis of flower-like tungsten nanoparticles by magnetron sputtering combined with gas aggregation”, Eur. Phys. J. D, 69:6 (2015)  crossref  isi  scopus
    50. B. A. Baitimbetova, B. M. Vermenichev, Yu. A. Ryabikin, Z. A. Mansurov, A. A. Abdikasova, “Study of Graphene Formed in the Atmosphere of Vapors of Aromatic Hydrocarbons”, Russ Phys J, 2015  crossref  isi  scopus
    51. Б. М. Смирнов, Э. Е. Сон, “Генерация металлических нанокластеров и микрочастиц”, ТВТ, 53:5 (2015), 782–791  mathnet  crossref  elib; B. M. Smirnov, É. E. Son, “Generation of metal nanoclusters and microparticles”, High Temperature, 53:5 (2015), 743–751  crossref  isi  elib
    52. Blazek J., Kousal J., Biederman H., Kylian O., Hanus J., Slavinska D., “Charging of Nanoparticles in Stationary Plasma in a Gas Aggregation Cluster Source”, J. Phys. D-Appl. Phys., 48:41 (2015), 415202  crossref  isi  scopus
    53. М. Ганева, П. В. Каштанов, А. В. Косарим, Б. М. Смирнов, Р. Хипплер, “Кластеры как инструмент для диагностики газовых потоков”, УФН, 185:6 (2015), 619–629  mathnet  crossref  adsnasa  elib; M. Ganeva, P. V. Kashtanov, A. V. Kosarim, B. M. Smirnov, R. Hippler, “Clusters as a diagnostics tool for gas flows”, Phys. Usp., 58:6 (2015), 579–588  crossref  isi
    54. Grammatikopoulos P., Steinhauer S., Vernieres J., Singh V., Sowwan M., “Nanoparticle design by gas-phase synthesis”, Adv. Phys.-X, 1:1 (2016), 81–100  crossref  isi  scopus
    55. Zeniieh D., Rostas A.M., Schleicher E., Ledernez L., Weber S., Urban G., “The Effect of Low Pressure Plasma Polymerization Modes on the Properties of the Deposited Plasma Polymers”, Plasma Process. Polym., 13:7 (2016), 744–751  crossref  isi  elib  scopus
    56. Ferrec A., Keraudy J., Jouan P.-Y., “Mass spectrometry analyzes to highlight differences between short and long HiPIMS discharges”, Appl. Surf. Sci., 390 (2016), 497–505  crossref  isi  elib  scopus
    57. Sushkov V., Herrendorf A.-P., Hippler R., “Metastable argon atom density in complex argon/acetylene plasmas determined by means of optical absorption and emission spectroscopy”, J. Phys. D-Appl. Phys., 49:42 (2016), 425201  crossref  isi  elib  scopus
    58. Ahadi A.M., Hinz A., Polonskyi O., Trottenberg T., Strunskus T., Kersten H., Faupel F., “Modification of a metal nanoparticle beam by a hollow electrode discharge”, J. Vac. Sci. Technol. A, 34:2 (2016), 021301  crossref  isi  elib  scopus
    59. В. П. Будаев, “Стохастическая кластеризация поверхности при взаимодействии плазмы с материалами”, Письма в ЖЭТФ, 105:5 (2017), 284–290  mathnet  crossref  elib; V. P. Budaev, “Stochastic clustering of the surface at the interaction of a plasma with materials”, JETP Letters, 105:5 (2017), 307–313  crossref  isi
    60. Herrendorf A.-P., Sushkov V., Hippler R., “Mass spectrometric investigations of plasma chemical reactions in a radiofrequency discharge with Ar/C _{2} H _{2} and Ar/C _{2} H _{2} /O _{2} gas mixtures”, J. Appl. Phys., 121:12 (2017), 123303  crossref  isi  scopus
    61. Abduev A.Kh., Akhmedov A.K., Asvarov A.Sh., Alikhanov N.M.-R., Emirov R.M., Muslimov A.E., Belyaev V.V., “Gas-phase clusterization of zinc during magnetron sputtering”, Crystallogr. Rep., 62:1 (2017), 133–138  crossref  isi  scopus
    62. В. Г. Лукин, О. Г. Хвостенко, “Влияние поверхностной адсорбции отрицательных ионов в ионном источнике на результаты измерений их времени жизни”, УФН, 187:9 (2017), 981–1002  mathnet  crossref  adsnasa  elib; V. G. Lukin, O. G. Khvostenko, “Negative ion adsorption by the ion source surface as a factor influencing ion lifetime measurements”, Phys. Usp., 60:9 (2017), 911–930  crossref  isi
    63. Budaev V.P., “Stochastic Clustering of Material Surface Under High-Heat Plasma Load”, Phys. Lett. A, 381:43 (2017), 3706–3713  crossref  isi  scopus
    64. Hippler R., Cada M., Stranak V., Hubicka Z., Helm C.A., “Pressure Dependence of Ar-2(+), Arti+, and Ti-2(+) Dimer Formation in a Magnetron Sputtering Discharge”, J. Phys. D-Appl. Phys., 50:44 (2017), 445205  crossref  isi  scopus
    65. Grammatikopoulos P., Sowwan M., “Nanoparticle Formation Via Magnetron Sputtering With Inert Gas Aggregation”, Nanostructured Semiconductors: Amorphization and Thermal Properties, ed. Termentzidis K., Pan Stanford Publishing Pte Ltd, 2017, 425–469  isi
    66. Б. М. Смирнов, “Металлические наноструктуры: от кластеров к нанокатализу и сенсорам”, УФН, 187:12 (2017), 1329–1364  mathnet  crossref  adsnasa  elib; B. M. Smirnov, “Metal nanostructures: from clusters to nanocatalysis and sensors”, Phys. Usp., 60:12 (2017), 1236–1267  crossref  isi
    67. Aussems D.U.B. Khrapak S.A. Dogan I. van de Sanden M.C.M. Morgan T.W., “An Analytical Force Balance Model For Dust Particles With Size Up to Several Debye Lengths”, Phys. Plasmas, 24:11 (2017), 113702  crossref  isi  scopus
    68. Shalayev R.V., Varyukhin V.N., Prudnikov A.M., Linnik A.I., Syrotkin V.V., “Role of Carbon in the Formation of the Structure and Magnetic Properties of Ni@Cnx Nanoclusters Under Reactive Magnetron Deposition”, Nanosyst.-Phys. Chem. Math., 8:6 (2017), 804–808  crossref  isi
    69. Pashkevich Yu., Prudnikov A., Lamonova K., Pas'ko M., “Nanocluster'S Magnetron Sputtering of Carbon-Nitride and Hybrid Nickel-Carbon-Nitride Films”, Proceedings of the 2017 IEEE 7Th International Conference Nanomaterials: Application & Properties (Nap), Proceedings of the International Conference Nanomaterials-Applications and Properties, eds. Pogrebnjak A., Novosad V., Zukowski P., Protsenko S., Shabelnyk Y., IEEE, 2017, UNSP 02NTF30  isi
    70. Hippler R., Denker Ch., “Formation of Cu-N(+) (N=1-3), Ar-N(+) (N=1, 2), and Arcu+ Ions During Sputtering of a Copper Surface By Low-Energy Ar+ Ion Bombardment in a Dilute Argon Atmosphere”, Plasma Sources Sci. Technol., 27:6 (2018), 065010  crossref  isi
    71. Filippov A.V., Pal A.F., Ryabinkin A.N., Serov A.O., Shugaev F.V., Xxxii International Conference on Interaction of Intense Energy Fluxes With Matter (Elbrus 2017), Journal of Physics Conference Series, 946, IOP Publishing Ltd, 2018  crossref  isi  scopus
    72. Hippler R., Denker Ch., “Generation of Positively and Negatively Charged Molecular Ions During Sputtering of a Copper Target By Low-Energy Ar+ Ion Bombardment in a Dilute Argon/Oxygen Gas Mixture”, Plasma Sources Sci. Technol., 28:3 (2019), 035008  crossref  isi
    73. Arnas C., Chami A., Couedel L., Acsente T., Cabie M., Neisius T., “Thermal Balance of Tungsten Monocrystalline Nanoparticles in High Pressure Magnetron Discharges”, Phys. Plasmas, 26:5 (2019), 053706  crossref  isi
    74. Grammatikopoulos P., “Atomistic Modeling of the Nucleation and Growth of Pure and Hybrid Nanoparticles By Cluster Beam Deposition”, Curr. Opin. Chem. Eng., 23:SI (2019), 164–173  crossref  isi
  • Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Просмотров:
    Эта страница:1821
    Полный текст:180
    Литература:37
    Первая стр.:1
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020