RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Скоро в журнале
Архив
Импакт-фактор
Подписка
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



УФН:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


УФН, 2019, том 189, номер 3, страницы 323–334 (Mi ufn6375)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

КОНФЕРЕНЦИИ И СИМПОЗИУМЫ

Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)

Д. Б. Абраменкоab, П. С. Анциферовa, Д. И. Астаховac, А. Ю. Виноходовb, И. Ю. Вичевd, Р. Р. Гаязовa, А. С. Грушинd, Л. А. Дорохинa, В. В. Ивановab, Д. А. Кимd, К. Н. Кошелевab, П. В. Крайновe, М. С. Кривокорытовabe, В. М. Кривцунabe, Б. В. Лакатошe, А. А. Лашb, В. В. Медведевace, А. Н. Рябцевa, Ю. В. Сидельниковa, Е. П. Снегирёвa, А. Д. Соломяннаяd, М. В. Спиридоновfb, И. П. Цыгвинцевd, О. Ф. Якушевg, А. А. Якушкинb

a Институт спектроскопии РАН, Москва, г. Троицк
b ООО "ЭУФ Лабс", г. Троицк, г. Москва
c ISTEQ B.V., Eindhoven, Netherlands
d Институт прикладной математики им. М.В. Келдыша РАН, г. Москва
e Московский физико-технический институт (государственный университет), г. Долгопрудный, Московская обл.
f Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, г. Москва
g Физический институт им. П. Н. Лебедева РАН, г. Москва

Аннотация: Описаны результаты исследований, посвящённых разработке плазменных источников экстремального ультрафиолетового излучения для литографии нового поколения и разработке методов спектральной диагностики таких источников.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 14-11-00699
Российский фонд фундаментальных исследований 16-02-00753
Работа выполнена при частичной финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 14-11-00699) и Российского фонда фундаментальных исследований (договор 16-02-00753).

Автор для корреспонденции

DOI: https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447

Полный текст: PDF файл (1533 kB)
Первая страница: PDF файл
Полный текст: http://www.ufn.ru/.../k
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Англоязычная версия:
Physics–Uspekhi, 2019, 62:3, 304–314

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
PACS: 42.82.Cr, 52.25.Os, 52.59.-f, 52.70.-m, 52.77.-j
Поступила: 28 августа 2018 г.
Одобрена в печать: 20 июня 2018 г.

Образец цитирования: Д. Б. Абраменко, П. С. Анциферов, Д. И. Астахов, А. Ю. Виноходов, И. Ю. Вичев, Р. Р. Гаязов, А. С. Грушин, Л. А. Дорохин, В. В. Иванов, Д. А. Ким, К. Н. Кошелев, П. В. Крайнов, М. С. Кривокорытов, В. М. Кривцун, Б. В. Лакатош, А. А. Лаш, В. В. Медведев, А. Н. Рябцев, Ю. В. Сидельников, Е. П. Снегирёв, А. Д. Соломянная, М. В. Спиридонов, И. П. Цыгвинцев, О. Ф. Якушев, А. А. Якушкин, “Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)”, УФН, 189:3 (2019), 323–334; Phys. Usp., 62:3 (2019), 304–314

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AbrAntAst19}
\by Д.~Б.~Абраменко, П.~С.~Анциферов, Д.~И.~Астахов, А.~Ю.~Виноходов, И.~Ю.~Вичев, Р.~Р.~Гаязов, А.~С.~Грушин, Л.~А.~Дорохин, В.~В.~Иванов, Д.~А.~Ким, К.~Н.~Кошелев, П.~В.~Крайнов, М.~С.~Кривокорытов, В.~М.~Кривцун, Б.~В.~Лакатош, А.~А.~Лаш, В.~В.~Медведев, А.~Н.~Рябцев, Ю.~В.~Сидельников, Е.~П.~Снегирёв, А.~Д.~Соломянная, М.~В.~Спиридонов, И.~П.~Цыгвинцев, О.~Ф.~Якушев, А.~А.~Якушкин
\paper Плазменные источники экстремального ультрафиолетового излучения для литографии и сопутствующих технологических процессов (к 50-летию Института спектроскопии РАН)
\jour УФН
\yr 2019
\vol 189
\issue 3
\pages 323--334
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ufn6375}
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNr.2018.06.038447}
\adsnasa{http://adsabs.harvard.edu/cgi-bin/bib_query?2019PhyU...62..304A}
\elib{http://elibrary.ru/item.asp?id=37038658}
\transl
\jour Phys. Usp.
\yr 2019
\vol 62
\issue 3
\pages 304--314
\crossref{https://doi.org/10.3367/UFNe.2018.06.038447}
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=000469214700010}
\scopus{http://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85070730766}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/ufn6375
  • http://mi.mathnet.ru/rus/ufn/v189/i3/p323

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
    Связанные публикации из базы данных Math-Net.Ru

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. Grigoryev S.Yu., Lakatosh B.V., Krivokorytov M.S., Zhakhovsky V.V., Dyachkov S.A., Ilnitsky D.K., Migdal K.P., Inogamov N.A., Vinokhodov A.Yu., Kompanets V.O., Sidelnikov Yu.V., Krivtsun V.M., Koshelev K.N., Medvedev V.V., “Expansion and Fragmentation of a Liquid-Metal Droplet By a Short Laser Pulse”, Phys. Rev. Appl., 10:6 (2018), 064009  crossref  isi  scopus
  • Успехи физических наук Physics-Uspekhi
    Просмотров:
    Эта страница:81
    Литература:18
    Первая стр.:8
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2019