Вычислительные методы и программирование
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Выч. мет. программирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Выч. мет. программирование, 2016, том 17, выпуск 4, страницы 455–459 (Mi vmp851)  

Расчет поверхностной шероховатости атомистических кластеров тонких пленок с характерным размером десятки нанометров

Ф. В. Григорьев, В. Б. Сулимов, А. В. Тихонравов

Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова

Аннотация: Предложен алгоритм расчета шероховатости поверхности тонких пленок, напыляемых в рамках численных экспериментов. Алгоритм применен к атомистическим кластерам диоксида кремния с характерным размером до 70 нм. Напыление пленки на подложку проводится с использованием метода, развитого ранее на основе классической молекулярной динамики с силовым полем DESIL, созданным специально для моделирования высокоэнергетических процессов напыления. Анализируется зависимость шероховатости от параметров алгоритма и от параметров напыления - температуры подложки и энергии осаждаемых атомов кремния.

Ключевые слова: шероховатость, молекулярная динамика, тонкие пленки, структура диоксида кремния.

Полный текст: PDF файл (291 kB)
УДК: 536.75; 538.9
Поступила в редакцию: 07.10.2016

Образец цитирования: Ф. В. Григорьев, В. Б. Сулимов, А. В. Тихонравов, “Расчет поверхностной шероховатости атомистических кластеров тонких пленок с характерным размером десятки нанометров”, Выч. мет. программирование, 17:4 (2016), 455–459

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{GriSulTik16}
\by Ф.~В.~Григорьев, В.~Б.~Сулимов, А.~В.~Тихонравов
\paper Расчет поверхностной шероховатости атомистических кластеров тонких пленок с характерным размером десятки нанометров
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2016
\vol 17
\issue 4
\pages 455--459
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp851}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/vmp851
  • http://mi.mathnet.ru/rus/vmp/v17/i4/p455

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Вычислительные методы и программирование
    Просмотров:
    Эта страница:79
    Полный текст:25
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021