RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Выч. мет. программирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Выч. мет. программирование, 2018, том 19, выпуск 4, страницы 439–448 (Mi vmp932)  

Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем

А. В. Тихонравовa, И. В. Кочиковa, И. А. Матвиенкоb, Т. Ф. Исаевb, Д. В. Лукьяненкоb, С. А. Шараповаa, А. Г. Яголаb

a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова
b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова

Аннотация: Предложены оценки, которые могут использоваться для предсказания степени ожидаемого эффекта корреляции ошибок в определении толщин слоев при изготовлении оптических покрытий с использованием широкополосного оптического контроля процесса напыления. Численное определение этих оценок требует проведения статистического анализа, для чего реализован эффективный вычислительный алгоритм моделирования ошибок толщин слоев, который обеспечивает, с одной стороны, случайный характер ошибок, но в то же время адекватно отражает корреляцию ошибок восстановления толщин, вносимую применяемым способом контроля напыления слоев. Показано, что ожидаемая степень проявления корреляции ошибок оценивается случайной величиной, распределение которой близко к логнормальному распределению, а в качестве параметров, характеризующих исследуемый эффект, могут быть взяты два основных параметра этого распределения.

Ключевые слова: обратные задачи, производство оптических покрытий, оптический контроль, компьютерное моделирование.

Полный текст: PDF файл (420 kB)
УДК: 519.61; 517.977.1
Поступила в редакцию: 04.10.2018

Образец цитирования: А. В. Тихонравов, И. В. Кочиков, И. А. Матвиенко, Т. Ф. Исаев, Д. В. Лукьяненко, С. А. Шарапова, А. Г. Ягола, “Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем”, Выч. мет. программирование, 19:4 (2018), 439–448

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TikKocMat18}
\by А.~В.~Тихонравов, И.~В.~Кочиков, И.~А.~Матвиенко, Т.~Ф.~Исаев, Д.~В.~Лукьяненко, С.~А.~Шарапова, А.~Г.~Ягола
\paper Корреляция ошибок при напылении оптических покрытий с широкополосным оптическим контролем
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2018
\vol 19
\issue 4
\pages 439--448
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp932}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/vmp932
  • http://mi.mathnet.ru/rus/vmp/v19/i4/p439

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Вычислительные методы и программирование
    Просмотров:
    Эта страница:98
    Полный текст:25
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021