RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Выч. мет. программирование:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Выч. мет. программирование, 2019, том 20, выпуск 4, страницы 471–480 (Mi vmp982)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb

a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова
b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова

Аннотация: Предложен новый алгоритм определения значений экстремумов измеряемой в процессе напыления многослойного покрытия зависимости значения коэффициента отражения от оптической толщины напыляемого слоя. Алгоритм использует физическую модель процесса напыления, что позволяет использовать все данные измерений, накопленные регистрирующим прибором во время напыления слоя, в отличие от классических подходов, которые хорошо описывают зависимость коэффициента отражения только вблизи ее экстремума. Эффективность предложенного подхода продемонстрирована на примере моделирования процесса напыления 20-слойного четвертьволнового зеркала.

Ключевые слова: вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных, тонкослойные покрытия, монохроматический оптический контроль.

DOI: https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441

Полный текст: PDF файл (488 kB)

УДК: 519.6
Поступила в редакцию: 07.10.2019

Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий”, Выч. мет. программирование, 20:4 (2019), 471–480

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag19}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2019
\vol 20
\issue 4
\pages 471--480
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp982}
\crossref{https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/vmp982
  • http://mi.mathnet.ru/rus/vmp/v20/i4/p471

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles

    Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
    1. И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных”, Сиб. журн. индустр. матем., 23:2 (2020), 93–105  mathnet  crossref; I. V. Kochikov, Yu. S. Lagutin, A. A. Lagutina, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola, “Raising the accuracy of monitoring the optical coating deposition by application of a nonlocal algorithm of data analysis”, J. Appl. Industr. Math., 14:2 (2020), 329–338  crossref
  • Вычислительные методы и программирование
    Просмотров:
    Эта страница:55
    Полный текст:13
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021