|
Выч. мет. программирование, 2019, том 20, выпуск 4, страницы 471–480
(Mi vmp982)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий
И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета имени М. В. Ломоносова
b Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
Аннотация:
Предложен новый алгоритм определения значений экстремумов измеряемой в процессе напыления многослойного покрытия зависимости значения коэффициента отражения от оптической толщины напыляемого слоя. Алгоритм использует физическую модель процесса напыления, что позволяет использовать все данные измерений, накопленные регистрирующим прибором во время напыления слоя, в отличие от классических подходов, которые хорошо описывают зависимость коэффициента отражения только вблизи ее экстремума. Эффективность предложенного подхода продемонстрирована на примере моделирования процесса напыления 20-слойного четвертьволнового зеркала.
Ключевые слова:
вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных, тонкослойные покрытия, монохроматический оптический контроль.
DOI:
https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441
Полный текст:
PDF файл (488 kB)
УДК:
519.6 Поступила в редакцию: 07.10.2019
Образец цитирования:
И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий”, Выч. мет. программирование, 20:4 (2019), 471–480
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag19}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Нелокальный алгоритм анализа данных монохроматического контроля процесса напыления многослойных покрытий
\jour Выч. мет. программирование
\yr 2019
\vol 20
\issue 4
\pages 471--480
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vmp982}
\crossref{https://doi.org/10.26089/NumMet.v20r441}
Образцы ссылок на эту страницу:
http://mi.mathnet.ru/vmp982 http://mi.mathnet.ru/rus/vmp/v20/i4/p471
Citing articles on Google Scholar:
Russian citations,
English citations
Related articles on Google Scholar:
Russian articles,
English articles
Эта публикация цитируется в следующих статьяx:
-
И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных”, Сиб. журн. индустр. матем., 23:2 (2020), 93–105
; I. V. Kochikov, Yu. S. Lagutin, A. A. Lagutina, D. V. Lukyanenko, A. V. Tikhonravov, A. G. Yagola, “Raising the accuracy of monitoring the optical coating deposition by application of a nonlocal algorithm of data analysis”, J. Appl. Industr. Math., 14:2 (2020), 329–338
|
Просмотров: |
Эта страница: | 55 | Полный текст: | 13 |
|