RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Вестн. Томск. гос. ун-та. Матем. и мех.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Вестн. Томск. гос. ун-та. Матем. и мех., 2017, номер 50, страницы 79–89 (Mi vtgu620)  

МЕХАНИКА

Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда

А. А. Ляхов, В. И. Струнин

Омский государственный университет им. Ф. М. Достоевского

Аннотация: Путем численного решения уравнений диффузии для нейтральных компонентов с учетом протекания химических реакций в газовой фазе проведено моделирование состава аргон-силановой плазмы тлеющего разряда. Анализируется вклад наиболее значимых химических реакций в кинетику образования и гибели различных компонентов плазмы. Исследуется кинетика реагентов в зависимости от времени пребывания рабочего газа в разрядной зоне. Обсуждается вопрос о количестве компонентов, включаемых в модель. Показано, что для интервалов времени $t\leqslant 10^{-2}$ с компоненты Si$_n$H$_x$ ($n\geqslant 3$) не существенны для моделирования химической кинетики пленкообразующих радикалов.

Ключевые слова: силановая плазма, процессы переноса в химически активной плазме, аморфный кремний.

DOI: https://doi.org/10.17223/19988621/50/7

Полный текст: PDF файл (568 kB)
Список литературы: PDF файл   HTML файл

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
УДК: 533.92
Статья поступила: 06.07.2017

Образец цитирования: А. А. Ляхов, В. И. Струнин, “Численный анализ кинетики химических реакций в аргон-силановой плазме тлеющего разряда”, Вестн. Томск. гос. ун-та. Матем. и мех., 2017, № 50, 79–89

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{LyaStr17}
\by А.~А.~Ляхов, В.~И.~Струнин
\paper Численный анализ кинетики химических реакций в~аргон-силановой плазме тлеющего разряда
\jour Вестн. Томск. гос. ун-та. Матем. и мех.
\yr 2017
\issue 50
\pages 79--89
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/vtgu620}
\crossref{https://doi.org/10.17223/19988621/50/7}
\elib{http://elibrary.ru/item.asp?id=30778974}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/vtgu620
  • http://mi.mathnet.ru/rus/vtgu/y2017/i50/p79

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Вестник Томского государственного университета. Математика и механика
    Просмотров:
    Эта страница:48
    Полный текст:16
    Литература:11
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020