Журнал вычислительной математики и математической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Ж. вычисл. матем. и матем. физ.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 2020, том 60, номер 12, страницы 2122–2130 (Mi zvmmf11175)  

Математическая физика

Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинbc, А. А. Лагутинаbc, Д. В. Лукьяненкоbc, А. В. Тихонравовac, А. Г. Яголаb

a 119234 Москва, Ленинские горы, НИВЦ МГУ им. М.В. Ломоносова, Россия
b 119992 Москва, Ленинские горы, МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, кафедра математики, Россия
c 119234 Москва, Ленинские горы, МГУ им. М.В. Ломоносова, Московский центр фундаментальной и прикладной математики, Россия

Аннотация: Предложен устойчивый метод оптического контроля толщин слоев при напылении многослойных оптических покрытий, позволяющий полностью устранить кумулятивный эффект накопления ошибок в толщинах напыляемых слоев. Рассматриваемый метод контроля использует нелокальный алгоритм анализа данных, получаемых при контроле процесса напыления покрытия. С помощью компьютерной симуляции процесса напыления демонстрируется эффективность предложенного типа контроля в сравнении с другими типами оптического контроля. Библ. 13. Фиг. 3.

Ключевые слова: многослойные покрытия, монохроматический оптический контроль, вычислительные алгоритмы, анализ экспериментальных данных.

Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16-11-10219
Работа выполнена при финансовой поддержке РНФ (проект № 16-11-10219).


DOI: https://doi.org/10.31857/S0044466920120066


Англоязычная версия:
Computational Mathematics and Mathematical Physics, 2020, 60:12, 2056–2063

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья
УДК: 519.6
Поступила в редакцию: 03.06.2020
Исправленный вариант: 03.06.2020
Принята в печать:04.08.2020

Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий”, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 60:12 (2020), 2122–2130; Comput. Math. Math. Phys., 60:12 (2020), 2056–2063

Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag20}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Устойчивый метод оптического контроля процесса напыления многослойных оптических покрытий
\jour Ж. вычисл. матем. и матем. физ.
\yr 2020
\vol 60
\issue 12
\pages 2122--2130
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/zvmmf11175}
\crossref{https://doi.org/10.31857/S0044466920120066}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=44154329}
\transl
\jour Comput. Math. Math. Phys.
\yr 2020
\vol 60
\issue 12
\pages 2056--2063
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0965542520120064}
\isi{http://gateway.isiknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=PARTNER_APP&SrcAuth=LinksAMR&DestLinkType=FullRecord&DestApp=ALL_WOS&KeyUT=WOS:000604980400008}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85098550482}


Образцы ссылок на эту страницу:
  • http://mi.mathnet.ru/zvmmf11175
  • http://mi.mathnet.ru/rus/zvmmf/v60/i12/p2122

    ОТПРАВИТЬ: VKontakte.ru FaceBook Twitter Mail.ru Livejournal Memori.ru


    Citing articles on Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles on Google Scholar: Russian articles, English articles
  • Журнал вычислительной математики и математической физики Computational Mathematics and Mathematical Physics
    Просмотров:
    Эта страница:18
     
    Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2021