RUS  ENG ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Россия
Адрес: Россия, 142432, п. Черноголовка Московской обл., ул. Институтская, 6
Телефон: +7 (495) 962 80 74
Факс: +7 (495) 962 80 47
E-mail:
Сайт: http://www.ipmt-hpm.ac.ru
Персоналий: 54
Авторов: 55
Публикаций: 63

Персоналии: K А Б В Г Д Е Ж З И К Л М Н О П С Т У Ф Х Ц Ч Ш
полный список

Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, РоссияИнститут проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской Академии наук формировался в 1982 — 1983 г.г. в составе Института физики твердого тела АН СССР и получил самостоятельность 1 января 1984 года.

Перед институтом ставилась задача проведения фундаментальных исследований в области физических основ микроэлектроники и свойств микро- и нанообъектов, создание методов контроля и диагностики микроструктур, разработка новых технологических процессов микроструктурирования, поиск и получение новых материалов для микроэлектроники. Предусматривалась и организация производства опытных партий особо-чистых материалов и технологического оборудования.

Структура ИПТМ РАН:

  1. Отдел Рентгеновской оптики
  2. Лаборатория спектроскопии магнитных материалов
  3. Лаборатория физики полупроводниковых микроструктур
  4. Лаборатория локальной диагностики полупроводниковых материалов
  5. Лаборатория квантовой электронной кинетики металлических наноструктур
  6. Лаборатория вычислительной диагностики




Другие названия организации:
  • Институт проблем технологии и микроэлектроники АН СССР
 
Обратная связь:
 Пользовательское соглашение  Регистрация  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2020