|
Computational nanotechnology, 2017, выпуск 4, страницы 14–20
(Mi cn150)
|
|
|
|
ПЛАЗМЕННЫЕ, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ, МИКРОВОЛНОВЫЕ И ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
Моделирование величин коэффициентов отражения и пропускания для многослойных покрытий
С. М. Аракелянa, О. Я. Бутковскийa, А. А. Бурцевb, С. Л. Лысенкоa, М. А. Панковab, Е. М. Притоцкийa, А. П. Притоцкаяa a Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия
b Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия
Аннотация:
Разработан способ расчета многослойных покрытий с заданными оптическими параметрами, проведено моделирование высокоотражающих покрытий и их воспроизведение на вакуумно-технологическом оборудовании методом ионно-плазменного напыления. Особенностью данного способа является использование модельной функции электромагнитной волны, в которой поглощение зависит только от координаты, нормальной к поверхности. Такой подход соответствует ситуации, когда поперечные размеры пучка много больше толщин покрытий, и позволяет учитывать тот факт, что амплитуда электромагнитной волны одинакова в различных точках на равном удалении от поверхности. На основе предложенного способа расчета предложен метод бесконтактного контроля толщин тонких пленок путем сравнения фактических и расчетных оптических характеристик отдельных слоев покрытий. Проведено сравнение экспериментальных коэффициентов пропускания многослойных зеркал с данными расчетной модели.
Ключевые слова:
отражение, пропускание, многослойная оптика, лазерное излучение.
Образец цитирования:
С. М. Аракелян, О. Я. Бутковский, А. А. Бурцев, С. Л. Лысенко, М. А. Панков, Е. М. Притоцкий, А. П. Притоцкая, “Моделирование величин коэффициентов отражения и пропускания для многослойных покрытий”, Comp. nanotechnol., 2017, № 4, 14–20
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/cn150 https://www.mathnet.ru/rus/cn/y2017/i4/p14
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 118 | PDF полного текста: | 81 | Список литературы: | 1 |
|