Computational nanotechnology
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Comp. nanotechnol.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Computational nanotechnology, 2017, выпуск 4, страницы 14–20 (Mi cn150)  

ПЛАЗМЕННЫЕ, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ, МИКРОВОЛНОВЫЕ И ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Моделирование величин коэффициентов отражения и пропускания для многослойных покрытий

С. М. Аракелянa, О. Я. Бутковскийa, А. А. Бурцевb, С. Л. Лысенкоa, М. А. Панковab, Е. М. Притоцкийa, А. П. Притоцкаяa

a Владимирский Государственный Университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых, Владимир, Россия
b Федеральное казенное предприятие «Государственный лазерный полигон «Радуга», Радужный, Россия
Аннотация: Разработан способ расчета многослойных покрытий с заданными оптическими параметрами, проведено моделирование высокоотражающих покрытий и их воспроизведение на вакуумно-технологическом оборудовании методом ионно-плазменного напыления. Особенностью данного способа является использование модельной функции электромагнитной волны, в которой поглощение зависит только от координаты, нормальной к поверхности. Такой подход соответствует ситуации, когда поперечные размеры пучка много больше толщин покрытий, и позволяет учитывать тот факт, что амплитуда электромагнитной волны одинакова в различных точках на равном удалении от поверхности. На основе предложенного способа расчета предложен метод бесконтактного контроля толщин тонких пленок путем сравнения фактических и расчетных оптических характеристик отдельных слоев покрытий. Проведено сравнение экспериментальных коэффициентов пропускания многослойных зеркал с данными расчетной модели.
Ключевые слова: отражение, пропускание, многослойная оптика, лазерное излучение.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-07-00943 А
Министерство образования и науки Российской Федерации 3.7530.2017/8.9 БЧ
Работа выполнена в рамках базовой части государственного задания ВлГУ № 3.7530.2017/8.9 БЧ и при поддержке гранта РФФИ №18-07-00943 А.
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: С. М. Аракелян, О. Я. Бутковский, А. А. Бурцев, С. Л. Лысенко, М. А. Панков, Е. М. Притоцкий, А. П. Притоцкая, “Моделирование величин коэффициентов отражения и пропускания для многослойных покрытий”, Comp. nanotechnol., 2017, № 4, 14–20
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AraButBur17}
\by С.~М.~Аракелян, О.~Я.~Бутковский, А.~А.~Бурцев, С.~Л.~Лысенко, М.~А.~Панков, Е.~М.~Притоцкий, А.~П.~Притоцкая
\paper Моделирование величин коэффициентов отражения и пропускания для многослойных покрытий
\jour Comp. nanotechnol.
\yr 2017
\issue 4
\pages 14--20
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/cn150}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=32314609}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/cn150
  • https://www.mathnet.ru/rus/cn/y2017/i4/p14
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Computational nanotechnology
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:118
    PDF полного текста:81
    Список литературы:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024