Особенности измерения субволнового фокусного пятна ближнепольным микроскопом

В работе численно и экспериментально исследовалось влияние полого металлического пирамидального кантилевера сканирующего ближнепольного оптического микроскопа на результат измерения характеристик субволнового фокусного пятна. На примере фокусировки линейно-поляризованного лазерного гауссова пучка с длиной волны $\lambda=633$ нм зонной пластинкой Френеля с фокусным расстоянием $532$ нм было показано, что полый кантилевер из алюминия с углом при вершине $70^\circ$ и отверстием $100$ нм регистрирует преимущественно интенсивность поперечных компонент электрического поля. При этом фокусное расстояние равно $0,36\lambda $, меньший диаметр эллиптического фокуса равен $(0,40\pm 0,02)\lambda $, глубина фокуса – $0,59\lambda $ , а дифракционная эффективность – $12\%$.