|
Физика твердого тела, 2025, том 67, выпуск 8, страницы 1441–1445 DOI: https://doi.org/10.61011/FTT.2025.08.61315.137-25
(Mi ftt11819)
|
|
|
|
Диэлектрики
In situ исследование роста филаментов в пленках стабилизированного диоксида циркония методом контактной емкостной атомно-силовой микроскопии
Д. О. Филатов, Е. Д. Сорочкина, Д. А. Антонов, И. Н. Антонов, О. Н. Горшков Нижегородский государственный университет им. Н. И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
DOI:
https://doi.org/10.61011/FTT.2025.08.61315.137-25
Аннотация:
Методом контактной емкостной атомно-силовой микроскопии исследованы процессы электроформовки и резистивного переключения в тонкой пленке стабилизированного иттрием диоксида циркония на проводящей подложке. В процессе линейной развертки напряжения между зондом и подложкой, наблюдалось нелинейное увеличение емкости зонд-образец, связанное с формированием в слое диэлектрика под зондом кластера, состоящего из вакансий кислорода (проводящего филамента). При последующем циклическом переключении пилообразным напряжением наблюдалось циклическое увеличение и уменьшение емкости зонд–образец, связанное с соответствующими изменениями размеров филамента под действием электрического поля между зондом и подложкой. Результаты настоящей работы демонстрируют возможности метода контактной емкостной микроскопии для исследования динамики филаментов в процессе резистивного переключения в оксидных пленках.
Ключевые слова:
мемристор, резистивное переключение, филамент, контактная емкостная атомно-силовая микроскопия, стабилизированный диоксид циркония.
Поступила в редакцию: 21.05.2025 Исправленный вариант: 25.06.2025 Принята в печать: 07.07.2025
Образец цитирования:
Д. О. Филатов, Е. Д. Сорочкина, Д. А. Антонов, И. Н. Антонов, О. Н. Горшков, “In situ исследование роста филаментов в пленках стабилизированного диоксида циркония методом контактной емкостной атомно-силовой микроскопии”, Физика твердого тела, 67:8 (2025), 1441–1445
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt11819 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v67/i8/p1441
|
| Статистика просмотров: |
| Страница аннотации: | 57 | | PDF полного текста: | 58 |
|