Физика твердого тела
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Физика твердого тела:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Физика твердого тела, 2025, том 67, выпуск 10, страницы 1928–1931
DOI: https://doi.org/10.61011/FTT.2025.10.61972.148-25 (Mi ftt12677) 		 
Сегнетоэлектричество

Надежность МДП-структур на основе пленок титаната бария стронция и оксида гафния

М. С. Афанасьев, Д. А. Белорусов, Д. А. Киселев, В. А. Лузанов, Г. В. Чучева

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия
PDF полного текста (367 kB)
DOI: https://doi.org/10.61011/FTT.2025.10.61972.148-25
Аннотация: Сегнетоэлектрические пленки титаната бария стронция (BST) и оксида гафния (HfO$_2$) синтезированы на кремниевые подложки методом высокочастотного напыления и магнетронного распыления соответственно. Представлены результаты исследований структурного состава пленок BST и HfO$_2$ и электрофизических свойств структур металл-диэлектрик-полупроводник (Ni-BST-Si) и (Ni-HfO$_2$-Si) на их основе.
Ключевые слова: сегнетоэлектрические пленки, титанат бария стронция (BST), оксид гафния (HfO$_2$), структуры металл-диэлектрик-полупроводник (МДП), электрофизические свойства.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 23-49-10014
Исследование выполнено за счет гранта Российского научного фонда № 23-49-10014, https://rscf.ru/en/project/23-49-10014/.
Поступила в редакцию: 28.05.2025
Исправленный вариант: 01.10.2025
Принята в печать: 02.10.2025
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: М. С. Афанасьев, Д. А. Белорусов, Д. А. Киселев, В. А. Лузанов, Г. В. Чучева, “Надежность МДП-структур на основе пленок титаната бария стронция и оксида гафния”, Физика твердого тела, 67:10 (2025), 1928–1931
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{AfaBelKis25}
\by М.~С.~Афанасьев, Д.~А.~Белорусов, Д.~А.~Киселев, В.~А.~Лузанов, Г.~В.~Чучева
\paper Надежность МДП-структур на основе пленок титаната бария стронция и оксида гафния
\jour Физика твердого тела
\yr 2025
\vol 67
\issue 10
\pages 1928--1931
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/ftt12677}
\crossref{https://doi.org/10.61011/FTT.2025.10.61972.148-25}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=87646675}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt12677
  • https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v67/i10/p1928
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Физика твердого тела Физика твердого тела
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:179
    PDF полного текста:99
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2026