Поверхностный импеданс сверхпроводниковых пленок Nb$-$Ge

Исследованы свойства сверхпроводниковых пленок Nb$-$Ge в широком диапазоне ВЧ$-$СВЧ. Пленки Nb$-$Ge с различной температурой сверхпроводящего перехода ${T_{c}= (12\ldots21)}$ K получены методом геттерного распыления с применением составных мишеней. Проведены измерения активной части поверхностного импеданса $R_{s}$ пленок при ${T=4.2}$ K на частотах (${30\ldots300)}$ МГц, (${5\ldots7)}$ ГГц и ${\sim60}$ ГГц по резонансным методикам. Установлены основные особенности свойств пленок Nb$-$Ge в ВЧ$-$СВЧ диапазоне: высокие значения $R_{s}$, сильная зависимость $R_{s}$ от $T_{c}$, немонотонная зависимость $R_{s}$ от частоты. Основной механизм остаточных потерь в сверхпроводниковых пленках Nb$-$Ge связывается с включениями несверхпроводящей фазы Nb$_{5}$Ge$_{3}$.