Влияние отжига на неупругую релаксацию в кремнии, легированном палладием

Исследовано внутреннее трение кремния, легированного палладием, в интервале температур 90$-$450 K на частотах 200$-$450 Гц. Выявлены отчетливые максимумы внутреннего трения при температурах 128 и 150 K соответственно в образцах кремния $p$- и $n$-типов. Наблюдаемая неупругая релаксация объясняется орторомбическим упругим диполем ориентации <110>. Приводятся результаты изучения отжига примесных центров палладия.