|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Международная конференция ''Фазовые переходы, критические и нелинейные явления в конденсированных средах'', Махачкала, 15-20 сентября 2019г.
Фазовые переходы
Плавление и электромиграция в тонких пленках хрома
M. Sharmaa, P. Kumarb, А. Иржакc, S. Kumara, R. Pratapa, С. В. фон Гратовскиd, В. Г. Шавровd, В. В. Коледовd a Centre of Nano-Science and Engineering,
Indian Institute of Science (IISc) Bangalore, India
b Department of Materials Engineering,
Indian Institute of Science (IISc) Bangalore, India
c Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
d Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, г. Москва
Аннотация:
Пленки хрома толщиной 10–40 nm, нанесенные на кремниевые подложки при помощи магнетронного осаждения, были подвергнуты воздействию электрического тока, индуцированного зондом атомно-силового микроскопа (АСМ) в воздушной среде при нормальных условиях. Плавление на наноуровне, миграция материала, вызванная электрическим током и химическая реакция окисления хрома были исследованы с помощью оптической и сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), атомной силовой микроскопии (АСМ) и спектроскопии комбинационного рассеяния света в кратерах плавления около области воздействия. Обнаружено, что течение расплавленного материала, индуцированное электрическим током, сопровождается образованием и движением массива сферических наночастиц в кратере плавления по его периферии. Предполагается, что реакция окисления хрома и поверхностное натяжение расплавленного материала на кремниевой подложке объясняют формирование массива нанокапель материала при сравнительно малых плотностях токах.
Ключевые слова:
Cr, тонкие пленки, электрический ток, АСМ, наноплавление, образование наносфер, СЭМ, спектроскопия комбинационного рассеяния света, поверхностный фазовый переход.
Поступила в редакцию: 30.12.2019 Исправленный вариант: 30.12.2019 Принята в печать: 10.01.2020
Образец цитирования:
M. Sharma, P. Kumar, А. Иржак, S. Kumar, R. Pratap, С. В. фон Гратовски, В. Г. Шавров, В. В. Коледов, “Плавление и электромиграция в тонких пленках хрома”, Физика твердого тела, 62:6 (2020), 880–884; Phys. Solid State, 62:6 (2020), 988–992
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/ftt8399 https://www.mathnet.ru/rus/ftt/v62/i6/p880
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 81 | PDF полного текста: | 16 |
|