|
Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2001, том 74, выпуск 4, страницы 234–236
(Mi jetpl4191)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 22 научных статьях (всего в 22 статьях)
КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ
Формирование субмикронных цилиндрических структур при воздействии на поверхность кремния компрессионным плазменным потоком
В. В. Угловa, В. М. Анищикa, В. В. Асташинскийa, В. М. Асташинскийb, С. И. Ананинb, В. В. Аскеркоb, Е. А. Костюкевичb, А. М. Кузьмицкийb, Н. Т. Квасовc, А. Л. Данилюкc a Белорусский государственный университет, г. Минск
b Институт молекулярной и атомной физики НАН Беларуси
c Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
Аннотация:
Получены субмикронные цилиндрические структуры на поверхности монокристалла кремния при воздействии на него компрессионным плазменным потоком. Внутри модифицированного слоя кремния обнаружена периодическая структура из нормально ориентированных к поверхности каналов, период расположения которых соответствует размещению поверхностных образований.
Поступила в редакцию: 16.07.2001
Образец цитирования:
В. В. Углов, В. М. Анищик, В. В. Асташинский, В. М. Асташинский, С. И. Ананин, В. В. Аскерко, Е. А. Костюкевич, А. М. Кузьмицкий, Н. Т. Квасов, А. Л. Данилюк, “Формирование субмикронных цилиндрических структур при воздействии на поверхность кремния компрессионным плазменным потоком”, Письма в ЖЭТФ, 74:4 (2001), 234–236; JETP Letters, 74:4 (2001), 213–215
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/jetpl4191 https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v74/i4/p234
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 194 | PDF полного текста: | 74 | Список литературы: | 1 |
|