Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Письма в ЖЭТФ:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики, 2020, том 111, выпуск 8, страницы 531–535
DOI: https://doi.org/10.31857/S1234567820080091 (Mi jetpl6157) 		 
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

РАЗНОЕ

Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния

А. Б. Толстогузовabc, М. Н. Дроздовd, А. Е. Иешкинe, А. А. Татаринцевef, А. В. Мяконькихf, С. Ф. Белыхg, Н. Г. Коробейщиковh, В. О. Пеленовичb, Д. Фуb

a Рязанский государственный радиотехнический университет им. В. Ф. Уткина, 390005 Рязань, Россия
b Wuhan University, 430072 Wuhan, China
c Centre for Physics and Technological Research, Universidade Nova de Lisboa, 2829-516 Caparica, Portugal
d Институт физики микроструктур РАН, 603087 Н. Новгород, Россия
e МГУ им. М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
f Физико-технологический институт им. К. А Валиева РАН, 117218 Москва, Россия
g Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), 125993 Москва, Россия
h Новосибирский государственный университет, 630090 Новосибирск, Россия
PDF полного текста (368 kB) Список цитирования (4)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.31857/S1234567820080091
Аннотация: Проведено изучение размерного эффекта, приводящего к увеличению эмиссии многоатомных кластерных ионов из наноструктур кремния по сравнению с макроскопическим образцом. Впервые для этих целей были использованы периодические структуры с шириной гребней $10$ и $50$ нм, изготовленные методом электронно-лучевой литографии с последующим плазмохимическим травлением. Показано, что для структур с эффективной шириной гребня, соизмеримой с величиной среднего проективного пробега бомбардирующего иона висмута в кремнии, выход многоатомных кластерных ионов значительно превосходит аналогичный показатель для макроскопических образцов, например, для $^{28}$Si$^-_{10}$ $(280 m/z)$ более, чем в $5$ раз. Этот эффект объяснен частичным ограничением каналов диссипации энергии, выделяемой бомбардирующим ионом в объеме структуры, что стимулирует более эффективное развитие каскадов нелинейных столкновений в таком объеме и в итоге активизирует выход многоатомных кластерных ионов.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский фонд фундаментальных исследований 18-02-00565_а
Работа поддержана проектом Российского фонда фундаментальных исследований # 18-02-00565 в части развития методики масс-спектрометрии вторичных ионов (TOF-SIMS).
Поступила в редакцию: 11.03.2020
Исправленный вариант: 19.03.2020
Принята в печать: 19.03.2020
Англоязычная версия:
Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2020, Volume 111, Issue 8, Pages 467–471
DOI: https://doi.org/10.1134/S0021364020080123
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
Образец цитирования: А. Б. Толстогузов, М. Н. Дроздов, А. Е. Иешкин, А. А. Татаринцев, А. В. Мяконьких, С. Ф. Белых, Н. Г. Коробейщиков, В. О. Пеленович, Д. Фу, “Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния”, Письма в ЖЭТФ, 111:8 (2020), 531–535; JETP Letters, 111:8 (2020), 467–471
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{TolDroIes20}
\by А.~Б.~Толстогузов, М.~Н.~Дроздов, А.~Е.~Иешкин, А.~А.~Татаринцев, А.~В.~Мяконьких, С.~Ф.~Белых, Н.~Г.~Коробейщиков, В.~О.~Пеленович, Д.~Фу
\paper Влияние размерного эффекта на кластерную ионную эмиссию наноструктур кремния
\jour Письма в ЖЭТФ
\yr 2020
\vol 111
\issue 8
\pages 531--535
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/jetpl6157}
\crossref{https://doi.org/10.31857/S1234567820080091}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=45492787}
\transl
\jour JETP Letters
\yr 2020
\vol 111
\issue 8
\pages 467--471
\crossref{https://doi.org/10.1134/S0021364020080123}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000546391100011}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85087525447}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl6157
  • https://www.mathnet.ru/rus/jetpl/v111/i8/p531
    • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики Pis'ma v Zhurnal Иksperimental'noi i Teoreticheskoi Fiziki
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:133
    PDF полного текста:17
    Список литературы:33
    Первая страница:5
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2025